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未曾忘卻的記憶：回旋在酒仙橋地區(qū)的集成電路夢(mèng)

前言

 

人生七十古來(lái)稀，如今八十不稀奇。回想起在北京東郊酒仙橋地區(qū)工作35年、生活了55年的人生，一年一年看著以前的領(lǐng)導(dǎo)、同事、同學(xué)們一個(gè)個(gè)地離我們而去，想想自己今年剛過(guò)八十足歲不久，但不知余日還有幾何？一旦兩腳一伸什么都煙消云散，不如當(dāng)腦子還有記憶的時(shí)候把往事寫(xiě)出來(lái)，留給后人看看，也許還有些用處。特別要學(xué)習(xí)我清華同班同學(xué)秦鵬頑強(qiáng)拼搏的精神，當(dāng)他身患重病時(shí)還不停地寫(xiě)出自己一生的經(jīng)歷。他的榜樣鼓勵(lì)著我寫(xiě)下去。

 

以此文紀(jì)念四機(jī)部已故的集成電路行業(yè)的領(lǐng)導(dǎo)和干部：權(quán)玉臣、李典舉、李德廣、李會(huì)昌、陳文華、戚正榮；紀(jì)念已故的單位領(lǐng)導(dǎo)和同事：王正華、梁振中、孫義芳、龔凱。

 

本文共分六大部分：

一、北京電子管廠起步研制固體電路

二、籌建第一家集成電路專(zhuān)業(yè)化工廠

三、878廠、774廠、器件二廠發(fā)展階段

四、籌建燕東聯(lián)合公司階段

五、燕東公司成長(zhǎng)擴(kuò)大階段

六、燕東新廠建設(shè)發(fā)展階段

以下正文 

 

一、北京電子管廠起步研制固體電路

 

1963年7月我從清華大學(xué)無(wú)線電系半導(dǎo)體專(zhuān)業(yè)畢業(yè)，8月就到被分配的北京電子管廠報(bào)到，即四機(jī)部直屬的774廠。北京電子管廠是在我國(guó)第一個(gè)五年計(jì)劃期間由蘇聯(lián)援助我國(guó)建設(shè)的156項(xiàng)工程之一，她在1956年10月15日舉行開(kāi)工典禮，是上世紀(jì)60年代亞洲最大的電子管廠。電子管是第一代電子器件。

工廠在北京東郊的酒仙橋工業(yè)區(qū)，因?yàn)樵诠S廠區(qū)和宿舍區(qū)之間有一座橋叫酒仙橋而得名。

 

圖一、北京電子管廠（774廠）廠區(qū)樓房

 

圖二、酒仙橋

 

圖三、酒仙橋旁酒仙雕像

 

1958年大躍進(jìn)年代，在清華大學(xué)上學(xué)期間，學(xué)校安排學(xué)生下工廠見(jiàn)習(xí)勞動(dòng)。我就曾經(jīng)到北京電子管廠化學(xué)車(chē)間陰極噴涂工序勞動(dòng)過(guò)。早在1957年廠里就籌建半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室。進(jìn)入60年代，廠里開(kāi)始生產(chǎn)半導(dǎo)體晶體管，這是第二代電子器件。我進(jìn)廠后分配到搞半導(dǎo)體的十車(chē)間鍺高頻晶體管工段勞動(dòng)。半年后，1964年初調(diào)到位于工廠后區(qū)的十車(chē)間試制組工作，和同事們一起籌建硅平面型晶體管（簡(jiǎn)稱(chēng)硅平面管）試制線，安排我搞氧化和硼擴(kuò)散工藝。那時(shí)候買(mǎi)不到半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備，所用設(shè)備都要由負(fù)責(zé)該工藝的大學(xué)生畫(huà)圖，到廠里機(jī)械加工車(chē)間加工。我負(fù)責(zé)氧化擴(kuò)散爐，其他人負(fù)責(zé)光刻機(jī)、蒸發(fā)臺(tái)、外延爐，以至大照相機(jī)。機(jī)械加工完后，由電氣工人老師傅來(lái)裝配調(diào)試。最后交給我們?cè)囉茫⒃跈C(jī)械和電氣老師傅們幫助下改進(jìn)之。那個(gè)年代我們就是在這樣的條件下開(kāi)始研制硅平面管的。我記得還出差去唐山，到陶瓷廠去選購(gòu)耐高溫的氧化鋁管，回來(lái)后和工人們一起繞康鈦絲做擴(kuò)散爐管，填上耐高溫材料做成擴(kuò)散爐，再和工人們一起倒班拉恒溫區(qū)。然后才開(kāi)始做氧化和硼擴(kuò)散工藝試驗(yàn)。

1965年初，工廠編制調(diào)整，十車(chē)間改為十分廠，王正華（1952年清華大學(xué)電機(jī)系畢業(yè)）擔(dān)任技術(shù)副廠長(zhǎng)；試制組改為試驗(yàn)室，稱(chēng)為三室，朱恩均（1957年北京大學(xué)半導(dǎo)體物理專(zhuān)業(yè)第一屆畢業(yè)）擔(dān)任技術(shù)副主任。室里又分為鍺高頻大功率管大組、鍺臺(tái)式管大組和硅平面管大組。我所在的硅平面管大組試制硅高頻大功率管，而位于工廠前區(qū)的三車(chē)間搞硅高頻小功率管。當(dāng)時(shí)我們?cè)囍频墓杵矫婀苄吞?hào)為4S1和4S11，4S1為3～5W, 4S11為10～15W。1965年5月，我和應(yīng)用組沈誠(chéng)送試制出的4S11型硅平面型高頻大功率管樣管去寶雞769廠給15W“小八一”電臺(tái)試用。同時(shí)送去做試驗(yàn)管子的還有石家莊第13研究所。

 

圖四、774廠三室所在樓外景

 

去寶雞出差后剛回到室里，試驗(yàn)室技術(shù)副主任朱恩均找我談話(huà)，要我跟著他開(kāi)始研發(fā)固體電路，也就是現(xiàn)在說(shuō)的集成電路。這是美國(guó)德州儀器公司和仙童公司分別在1958年剛研究發(fā)明的第三代電子器件。這是在清華畢業(yè)前，由美國(guó)回來(lái)的黃敞先生來(lái)清華大學(xué)給我們作專(zhuān)題講座時(shí)才提到的新名詞，劃時(shí)代的新產(chǎn)品。當(dāng)時(shí)對(duì)固體電路在我腦子里幾乎是一片空白，但是我接受了這一任務(wù)。從此開(kāi)始與半導(dǎo)體集成電路（英文簡(jiǎn)寫(xiě)為IC，當(dāng)時(shí)稱(chēng)為固體電路）相伴一生。開(kāi)始時(shí)就在硅平面管大組里試制，但不久就單獨(dú)組成固體電路大組，安排我擔(dān)任大組長(zhǎng)。固體電路大組包括硼擴(kuò)散、磷擴(kuò)散、光刻、蒸發(fā)和后部封裝，而照相制版、磨片拋光和外延則是公共的，同時(shí)為平面管大組和固體電路大組服務(wù)。試驗(yàn)室里原來(lái)沒(méi)有晶體管封裝，后部工藝只有在管子底座上燒結(jié)芯片和壓焊，然后到工廠前區(qū)車(chē)間封帽后完成封裝。而固體電路則是采用扁平外殼，在底殼上粘結(jié)芯片后經(jīng)壓焊還要自己封蓋板以完成封裝。

當(dāng)初我們就靠閱讀文獻(xiàn)開(kāi)始研究工作。我們?cè)O(shè)計(jì)的第一塊固體電路是DTL（二極管晶體管邏輯）型與非門(mén)電路，包含平面型晶體二極管、晶體三極管和電阻，這是電子計(jì)算機(jī)布爾代數(shù)里最基本的電路，由它可以組成各種邏輯電路。工藝是反外延、SiO2介質(zhì)隔離。當(dāng)時(shí)所采用的硅片為小方片，先是10×10平方毫米，后來(lái)是15×15平方毫米。所采用的扁平外殼是金屬玻璃型的，由我們出零件圖，總廠工具科開(kāi)模具，零件車(chē)間沖制零件：引線框架、邊框、底板和蓋板，然后玻璃分廠燒結(jié)成底殼。我們流出的硅片劃成小芯片粘在底殼里，經(jīng)過(guò)壓焊金絲后最后封上蓋板制成成品。我們第一個(gè)用戶(hù)是位于北京韋子坑的15所，即華北計(jì)算技術(shù)研究所。在試制過(guò)程中得到他們大力支持，他們還派了技術(shù)人員來(lái)，在我們研制過(guò)程中協(xié)助我們對(duì)試制出的樣品進(jìn)行測(cè)試和分析。

 

那時(shí)候我國(guó)有多家單位進(jìn)行固體電路研發(fā)，北京研究單位有中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所、中國(guó)科學(xué)院計(jì)算技術(shù)研究所156工程處和北京市無(wú)線電器件研究所（簡(jiǎn)稱(chēng)沙河研究所），石家莊則有13所（即河北半導(dǎo)體研究所）。有一次，林巍廠長(zhǎng)帶我專(zhuān)門(mén)去156工程處參觀。當(dāng)時(shí)多家單位分別研制出固體電路樣品。到1965年年底，13所召開(kāi)新產(chǎn)品設(shè)計(jì)定型會(huì)，在國(guó)內(nèi)第一家鑒定了固體電路產(chǎn)品：采用介質(zhì)隔離的DTL型數(shù)字邏輯電路。我也去參加了會(huì)議。由于13所和我們774廠采用相同的工藝，并且都與15所有合作關(guān)系，因此15所研制的第三代電子計(jì)算機(jī)樣機(jī)就由這兩家單位供應(yīng)電路，我廠提供數(shù)量大的與非門(mén)電路，13所提供技術(shù)難度大的與非驅(qū)動(dòng)器電路。1967年15所研制的采用固體電路的電子計(jì)算機(jī)樣機(jī)在當(dāng)時(shí)舉辦的內(nèi)部技術(shù)成果展覽會(huì)上展出，樣機(jī)唱出了《東方紅》樂(lè)曲，這是我國(guó)自主研發(fā)的第一批第三代電子計(jì)算機(jī)之一。當(dāng)時(shí)15所參加研制第一臺(tái)樣機(jī)的主要成員有王應(yīng)銓、張先金和于紹鏞等人。

那個(gè)年代處于四清運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)到文化大革命起始階段，大字報(bào)從大學(xué)里漫延到工廠里，后來(lái)又發(fā)展到兩派武斗。當(dāng)時(shí)國(guó)家提出的口號(hào)是“抓革命 促生產(chǎn)”。固體電路大組也不是處在真空里，我允許工人們可以去廠區(qū)里看大字報(bào)，但當(dāng)芯片流到你所在工序時(shí)，就要求回來(lái)操作。大伙都還支持工作，保證了研制和生產(chǎn)任務(wù)的完成，流片始終沒(méi)有間斷。

 

當(dāng)時(shí)研制固體電路的工廠還有上海元件五廠，他們采用國(guó)際上通用的PN結(jié)隔離，研制TTL（晶體管晶體管邏輯）型電路，與華東計(jì)算所合作，在1966年底召開(kāi)產(chǎn)品鑒定會(huì)，我也在鐵路交通因文化大革命而受到嚴(yán)重影響情況下，非常不容易地趕到上海科學(xué)會(huì)堂參加了會(huì)議。

當(dāng)時(shí)國(guó)內(nèi)各研究所和南北兩家工廠基本上都是各自獨(dú)立研究的，工廠并沒(méi)有從研究所接產(chǎn)一說(shuō)。研究所則有少量從國(guó)外回來(lái)的專(zhuān)家或教授為骨干，像中科院半導(dǎo)體所有從美國(guó)回來(lái)的林蘭英先生（搞半導(dǎo)體材料）和王守武先生（搞半導(dǎo)體物理和器件），156工程處有從美國(guó)回來(lái)的黃敞先生，而工廠里則沒(méi)有這樣的條件，完全靠國(guó)內(nèi)大學(xué)自己培養(yǎng)出來(lái)的年輕大學(xué)生和工人們一起自力更生干出來(lái)的。在我們北京電子管廠試驗(yàn)室固體電路大組里，開(kāi)始時(shí)有清華大學(xué)和成都電訊工程學(xué)院畢業(yè)生參加，后來(lái)又有西安交通大學(xué)、西北電訊工程學(xué)院和浙江大學(xué)畢業(yè)生參加，并增加了副組長(zhǎng)陳光宜，她是西安交大畢業(yè)的。工人們則由三部分人組成：從前面電子管車(chē)間調(diào)來(lái)的女工，中專(zhuān)畢業(yè)生（后來(lái)轉(zhuǎn)為技術(shù)人員），還有由解散的總廠警衛(wèi)隊(duì)分來(lái)的男工。大家都是在實(shí)踐中學(xué)習(xí)，在摸索中前進(jìn)。各大組技術(shù)上總的都由試驗(yàn)室副主任朱恩均負(fù)責(zé)，他是我們技術(shù)上的領(lǐng)頭人。

 

我們這條試驗(yàn)線，曾經(jīng)接待過(guò)北京大學(xué)半導(dǎo)體物理專(zhuān)業(yè)在校學(xué)習(xí)的大學(xué)生來(lái)線見(jiàn)習(xí)活動(dòng)，當(dāng)時(shí)是由武國(guó)英和張麗春兩位老師帶隊(duì)。也接待過(guò)一批沈陽(yáng)半導(dǎo)體所技術(shù)人員和工人長(zhǎng)達(dá)數(shù)月的實(shí)習(xí)活動(dòng)。

 

記得在1967年嚴(yán)寒冬天某一天，四機(jī)部打來(lái)電話(huà)，通知我當(dāng)天晚上到前門(mén)飯店開(kāi)會(huì)。我趕到那兒，是剛從朝鮮出國(guó)回來(lái)的電子器件處處長(zhǎng)權(quán)玉臣召開(kāi)會(huì)議。會(huì)上主要討論為了加速發(fā)展固體電路，提出要建專(zhuān)業(yè)化工廠。因?yàn)楫?dāng)時(shí)在研制固體電路的部直屬?gòu)S北京電子管廠是以生產(chǎn)第一代電子器件電子管為主的，同時(shí)也在發(fā)展第二代電子器件晶體管，再要發(fā)展第三代電子器件固體電路力度大不了。記得當(dāng)年部里負(fù)責(zé)半導(dǎo)體的成員有肖思偉（后調(diào)去外經(jīng)貿(mào)部）、陳文華（1962年成都電訊工程學(xué)院畢業(yè)分配到部機(jī)關(guān)工作）、李典舉（1957年北京無(wú)線電工業(yè)學(xué)校畢業(yè)，曾任北京電子管廠十車(chē)間試制組組長(zhǎng)），后來(lái)又從北京電子管廠調(diào)去李會(huì)昌（1962年西安交大畢業(yè)）和李進(jìn)（1958年北京無(wú)線電工業(yè)學(xué)校畢業(yè)）。從這次會(huì)后，部里就規(guī)劃起要建一批固體電路專(zhuān)業(yè)化工廠。那個(gè)年代正是國(guó)家搞三線建設(shè)年代，部里規(guī)劃在大后方三線地區(qū)新建三座固體電路工廠，并取名代號(hào)為877廠、878廠和879廠。過(guò)去四機(jī)部直屬?gòu)S代號(hào)大部分是7字頭。當(dāng)這一消息傳到我們774廠固體電路大組以后，組里一批從總廠警衛(wèi)隊(duì)調(diào)來(lái)的工人們覺(jué)得到山溝里新建工廠太慢，應(yīng)該在北京找一地方新建快得多。于是在當(dāng)時(shí)文化大革命年代政治氣氛下，他們自發(fā)地成群結(jié)隊(duì)跑到萬(wàn)壽路27號(hào)四機(jī)部機(jī)關(guān)大院去，找到軍管會(huì)領(lǐng)導(dǎo)下、唯一一位沒(méi)有被打倒、還在主持工作的副部長(zhǎng)齊一丁，向他申述了就在北京新建固體電路專(zhuān)業(yè)化工廠的理由。齊部長(zhǎng)之后召集會(huì)議，聽(tīng)取了管半導(dǎo)體工作的干部們的意見(jiàn)后，決定將三個(gè)廠之一的878廠就建在北京，以求快速建成盡早拿出產(chǎn)品供應(yīng)軍工急需。這就是878廠沒(méi)建在三線的原因。于是1968年2月8日四機(jī)部決定在北京籌建878廠，即國(guó)營(yíng)東光電工廠。而另兩廠則仍然建在三線，877廠開(kāi)始建在陜西商縣，后來(lái)遷到西安；879廠原在四川青川建廠，后來(lái)轉(zhuǎn)到成都建廠，取名為紅光電工廠。

 

部里決定由774廠為主抽調(diào)人員籌建878廠，任命鄺少凡為籌備組負(fù)責(zé)人。為了加強(qiáng)建設(shè)878廠的領(lǐng)導(dǎo)班子，部里調(diào)了政工部門(mén)宣傳處處長(zhǎng)陳先覺(jué)和財(cái)務(wù)司財(cái)務(wù)處處長(zhǎng)梁振中到878廠籌備組工作。當(dāng)時(shí)籌備組成立后就在北京開(kāi)始招工，大部分是初中畢業(yè)生，也有小部分高中畢業(yè)生，包括外語(yǔ)學(xué)校英文班德文班幾個(gè)畢業(yè)生。負(fù)責(zé)勞資人事干部來(lái)774廠聯(lián)系了安排這批招來(lái)的年輕工人到我們固體電路大組試制線上實(shí)習(xí)，每一工序都安排了人員。這樣，774廠固體電路試制線為878廠培養(yǎng)了第一批年輕工人，他們后來(lái)成為878廠工人的骨干力量。

總之，從1965年5月份開(kāi)始，北京電子管廠就開(kāi)始獨(dú)立地、自力更生地研究固體電路, 在十分廠試驗(yàn)室里所研制出來(lái)的一批固體電路與石家莊13所研制的固體電路共同供給北京15所研制成功我國(guó)第一批第三代電子計(jì)算機(jī)樣機(jī)。之后又投入小批生產(chǎn)。

 

附固體電路大組技術(shù)人員名單：

組長(zhǎng)：朱貽瑋（清華1963年）

副組長(zhǎng)：陳光宜（西安交大1962年）

硼擴(kuò)散：許同玉（清華1964年）、譚家升（清華1966年）、方勝（西電1966年）

磷擴(kuò)散：劉湘?zhèn)悾ǔ呻?964年）

光刻組：陳光宜（兼）、許同玉（后來(lái)參加）

蒸發(fā)組：王玉芳（成電1965年）

低溫氧化：鄭英杰（浙大1967年）

后部組：汪永生（清華1965年）

測(cè)試組；張全（成電1964年）

后又有西電1967年畢業(yè)的李梅格、王鴻軍參加。

 

圖五、三室固體電路大組部分成員

前排：左 朱貽瑋，右 許同玉，后排：中 陳光宜

 

二、籌建第一家集成電路專(zhuān)業(yè)化工廠

 

878廠籌備組成立后，對(duì)廠址初步選在位于西郊清華大學(xué)東邊的768廠（大華儀器廠）廠區(qū)附近，該廠也是部直屬?gòu)S，主要生產(chǎn)微波儀器。很快就在現(xiàn)在六道口六所的位置，廠房大樓和宿舍樓都打好地基開(kāi)始往上壘墻了。這時(shí)發(fā)生了一件突然事情。當(dāng)時(shí)處在文化大革命時(shí)期，在一次內(nèi)部軍事科技成果展覽會(huì)上展出一項(xiàng)技術(shù)革新成果，將一臺(tái)小型電臺(tái)發(fā)射距離加大了不少。當(dāng)林彪?yún)⒂^后問(wèn)了這位革新者是誰(shuí)，回答說(shuō)是一位解放軍戰(zhàn)士。又問(wèn)這位戰(zhàn)士的文化程度如何，回答說(shuō)是初中畢業(yè)。據(jù)說(shuō)當(dāng)時(shí)林彪說(shuō)了一句看來(lái)初中文化程度就可以了。那年代文化大革命革命對(duì)象之一是資產(chǎn)階級(jí)教授們統(tǒng)治下的高等院校，當(dāng)時(shí)大學(xué)里都已停課鬧革命。當(dāng)這一情況傳到四機(jī)部教育局那里，教育局長(zhǎng)緊跟林彪，一聲令下，把四機(jī)部在全國(guó)各地十幾所中等專(zhuān)科學(xué)校全都改成工廠，如成都無(wú)線電校改為970廠，無(wú)錫無(wú)線電機(jī)械學(xué)校（當(dāng)時(shí)改名為抗大）改為742廠，由市區(qū)棉花巷搬到運(yùn)河旁、錫惠公園附近，后來(lái)發(fā)展成為華晶公司。而位于北京酒仙橋地區(qū)、在北京電子管廠旁邊的北京無(wú)線電工業(yè)學(xué)校（簡(jiǎn)稱(chēng)北無(wú)校）則由部里決定作為新建的878廠的場(chǎng)所，這是1968年10月24日由四機(jī)部下達(dá)通知后執(zhí)行的。這樣一來(lái)，在西郊六道口剛開(kāi)始建的廠房和宿舍都停下來(lái)了，籌備組遷到了北無(wú)校里。之后籌備組領(lǐng)導(dǎo)班子和北無(wú)校領(lǐng)導(dǎo)班子合起來(lái)，這樣，878廠從此出現(xiàn)成員龐大的領(lǐng)導(dǎo)班子。在這樣情況下，組織上從774廠三室中陸續(xù)抽調(diào)一些技術(shù)人員到878廠籌備組，有原來(lái)負(fù)責(zé)鍺臺(tái)式管組的陸耀庭、搞外延的李樹(shù)棟和簡(jiǎn)堯恒，在我們固體電路組中有我和搞硼擴(kuò)散的方勝。當(dāng)時(shí)籌備組分為政工組、生產(chǎn)組、基建組和后勤組。從774廠調(diào)來(lái)的技術(shù)人員、北無(wú)校及其實(shí)驗(yàn)工廠的老師和新招來(lái)的年輕工人都在生產(chǎn)組里。我在1968年12月到878廠籌備組報(bào)到，開(kāi)始工作后認(rèn)識(shí)的第一位北無(wú)校實(shí)驗(yàn)工廠半導(dǎo)體車(chē)間老師就是李顯榮，他是北無(wú)校1960年半導(dǎo)體專(zhuān)業(yè)畢業(yè)。我倆第一件工作就是清點(diǎn)半導(dǎo)體車(chē)間所有的儀器設(shè)備，以備使用。

北無(wú)校主要有兩棟建筑，一是教學(xué)樓，一是實(shí)驗(yàn)樓，都是4層樓，各有5000平米。878廠就利用這兩座樓作為車(chē)間來(lái)搞生產(chǎn)。原來(lái)地面都是水泥地，為了生產(chǎn)集成電路要求干凈，因此首要任務(wù)是砸掉水泥地，改鋪水磨石地。當(dāng)時(shí)組織在周?chē)鷰讉€(gè)工廠實(shí)習(xí)回來(lái)的大部分年輕工人們參加勞動(dòng)來(lái)完成這項(xiàng)任務(wù)。與此同時(shí)，讓我組織在774廠固體電路線上實(shí)習(xí)過(guò)的年輕工人利用北無(wú)校實(shí)驗(yàn)工廠半導(dǎo)體車(chē)間一部分可以用上的設(shè)備開(kāi)始試制固體電路樣品。有的工序不具備條件，該工序年輕工人就拿著片子到774廠師傅那兒流片。經(jīng)過(guò)大家日夜努力，在774廠協(xié)助下，878廠在不長(zhǎng)的時(shí)間里搞出了第一塊固體電路樣品，也是SiO2介質(zhì)隔離的DTL型與非門(mén)電路。

 

在廠房改造期間，一方面組織采購(gòu)國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備，一方面作技術(shù)準(zhǔn)備。廠領(lǐng)導(dǎo)讓我組織一個(gè)精干的隊(duì)伍去上海元件五廠參觀學(xué)習(xí)TTL（晶體管晶體管邏輯）型電路工藝和設(shè)計(jì)，學(xué)習(xí)他們采用的PN結(jié)隔離工藝技術(shù)。回廠后組織三結(jié)合小組設(shè)計(jì)與非門(mén)電路版圖，于1969年在部分改造好的廠房里試制出878廠第一批TTL型與非門(mén)電路。當(dāng)時(shí)所加工的硅片為不規(guī)則的小圓片，直徑為30多毫米。

 

到1970年10月，廠房改造及設(shè)備調(diào)試工作全部完成，開(kāi)始全面投產(chǎn)。四季度廠里組織大干，決心拿下20萬(wàn)只固體電路芯片。當(dāng)時(shí)廠領(lǐng)導(dǎo)和我吃在廠里，睡在廠里，和車(chē)間工人、技術(shù)人員一起干。1971年廠里組織上陶瓷外殼，為全年完成50萬(wàn)塊固體電路成品打下基礎(chǔ)。由三車(chē)間承擔(dān)生產(chǎn)陶瓷外殼的任務(wù)，從外廠買(mǎi)來(lái)陶瓷底片和環(huán)片，自行制作玻璃側(cè)環(huán)，加上機(jī)加車(chē)間自制模具沖出的引線框架，燒結(jié)成陶瓷底殼。

 

全廠各車(chē)間安排情況如下：原教學(xué)樓二層三層是一車(chē)間，搞數(shù)字電路，研制TTL型數(shù)字電路，一層則是搞磨片拋光和外延，屬六車(chē)間，并搞制版；原實(shí)驗(yàn)樓二層是二車(chē)間，研制線性電路（現(xiàn)在稱(chēng)模擬電路）。后來(lái)又把一車(chē)間一分為二：二層一車(chē)間生產(chǎn)TTL中速電路，三層為九車(chē)間，開(kāi)始研制抗飽和型肖特基TTL（即S-TTL）高速電路。又在原實(shí)驗(yàn)樓一層成立八車(chē)間，研制生產(chǎn)固體電路測(cè)試儀器。

 

在廠區(qū)其他部位有三車(chē)間，搞材料和外殼，包括自己生產(chǎn)四氯化硅和硅烷。生產(chǎn)硅烷很危險(xiǎn)，它一遇見(jiàn)空氣就要燃燒，乃至爆炸。有一次所產(chǎn)生的氣體快要從塑料管里跑出來(lái)。這時(shí)候操作的年輕工人歐新黔硬是用嘴把管子里氣體吹回去，這才避免了一場(chǎng)事故。為此她被選為學(xué)習(xí)毛主席著作的積極分子。全廠動(dòng)力部門(mén)為五車(chē)間，機(jī)械加工為四車(chē)間，負(fù)責(zé)開(kāi)模子、沖零件和自制一部分設(shè)備。七車(chē)間則是后來(lái)組建的MOS電路車(chē)間，為其專(zhuān)門(mén)新建了小凈化廠房，其光刻間頭一次采用了垂直層流結(jié)構(gòu)，開(kāi)始把潔凈技術(shù)引入半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)上來(lái)。后來(lái)又單獨(dú)成立封裝車(chē)間，為十車(chē)間，位于原實(shí)驗(yàn)樓三層。當(dāng)時(shí)878廠采用IDM模式，即集成器件制造模式，“麻雀雖小，五臟俱全”，自行設(shè)計(jì)電路、制版、加工芯片，直至封裝測(cè)試，最后打印包裝，連特種材料和外殼都由自己生產(chǎn)。

 

1972年春節(jié)前后，四機(jī)部在北京東四旅館召開(kāi)集成電路座談會(huì)。會(huì)上提到由于當(dāng)時(shí)國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的集成電路質(zhì)量不好，影響到電子計(jì)算機(jī)整機(jī)調(diào)不出來(lái)。我參加會(huì)議后回廠組織質(zhì)量調(diào)查，從廠內(nèi)到廠外，大家共同總結(jié)出造成集成電路質(zhì)量差的原因是四個(gè)字：“臟、虛、傷、漏”，即骯臟、虛焊、劃傷和漏氣。然后針對(duì)所存在的問(wèn)題一個(gè)一個(gè)分別采取相應(yīng)的改進(jìn)措施。之前，我在1971年參加秋季廣交會(huì)時(shí)與日本富士通公司及德國(guó)西門(mén)子公司進(jìn)行技術(shù)交流座談中得知，熱壓焊壓點(diǎn)抗拉力應(yīng)不小于2克，這時(shí)就要求車(chē)間組織熱壓工人經(jīng)過(guò)練兵全部達(dá)到2克以上拉力，以防止虛焊。又學(xué)習(xí)上海兄弟廠的鏡檢（顯微鏡檢查）辦法，提高芯片表面質(zhì)量。還組織有關(guān)人員試驗(yàn)改變內(nèi)涂料以提高封裝質(zhì)量。同時(shí)，和技術(shù)人員一起對(duì)構(gòu)成電路的元器件（電阻、二極管、三極管）進(jìn)行不同設(shè)計(jì)的試驗(yàn)，摸索各元器件性能對(duì)門(mén)電路高低溫性能的影響，從而進(jìn)行電路設(shè)計(jì)的改進(jìn)。然后組織生產(chǎn)了一批改進(jìn)后的中速電路提供給近鄰738廠試制出DJS153型電子計(jì)算機(jī)，經(jīng)廣交會(huì)和出國(guó)展覽，證明質(zhì)量提高后的集成電路可調(diào)出小型電子計(jì)算機(jī)。當(dāng)時(shí)位于北京昌平、號(hào)稱(chēng)“200號(hào)”的北京大學(xué)電子儀器廠正在研制大型電子計(jì)算機(jī)，采用的集成電路就是878廠生產(chǎn)的TTL中速電路和S-TTL高速電路。在研制S-TTL高速電路時(shí)，技術(shù)員方勝曾去北京大學(xué)請(qǐng)教物理系從英國(guó)回來(lái)的黃昆教授。起初也由于集成電路可靠性不高，整機(jī)調(diào)試工作遇到困難。為此，878廠由廠黨委書(shū)記曹良親自帶領(lǐng)我們學(xué)習(xí)隊(duì)伍下江南，去上海向同行工廠參觀學(xué)習(xí)。曹書(shū)記原是北無(wú)校黨委書(shū)記，抗戰(zhàn)期間就參加八路軍，在對(duì)敵作戰(zhàn)中負(fù)傷，一只眼睛失明。我們從上海回到北京后決定“退倒從來(lái)”，重新生產(chǎn)一批質(zhì)量改進(jìn)后的中速和高速電路供給北京大學(xué)電子儀器廠，從而使北京大學(xué)電子儀器廠在1972年研制成功我國(guó)第一臺(tái)100萬(wàn)次大型電子計(jì)算機(jī)。這些事實(shí)才扭轉(zhuǎn)了“集成電路不如晶體管，晶體管不如電子管”那種“一代不如一代”的局面。

 

建廠初期，處于文化大革命早期，工廠組織機(jī)構(gòu)還是革命委員會(huì)形式，領(lǐng)導(dǎo)人是革委會(huì)主任。下設(shè)政工組、生產(chǎn)組、行政組、基建組和后勤組，后來(lái)生產(chǎn)組改為生產(chǎn)技術(shù)組。之后才恢復(fù)工廠建制，廠領(lǐng)導(dǎo)人為廠長(zhǎng)，第一任廠長(zhǎng)是鄺少凡，而梁振中任副廠長(zhǎng)。下設(shè)各個(gè)科室，生產(chǎn)技術(shù)組改為生產(chǎn)技術(shù)科。隨著工廠業(yè)務(wù)的擴(kuò)大，后來(lái)到1973年5月又把生產(chǎn)技術(shù)科一分為二，分成生產(chǎn)科和技術(shù)科。任命蔣正華為技術(shù)科長(zhǎng)，任命我為副科長(zhǎng)，蔣正華原來(lái)負(fù)責(zé)基建組，在廠房改建完成后調(diào)到生產(chǎn)技術(shù)組，后又改為生產(chǎn)技術(shù)科。自技術(shù)科成立之后幾年里，一直由他和我領(lǐng)導(dǎo)全廠技術(shù)管理工作。

 

1976年7月27日878廠在廠里召開(kāi)產(chǎn)品設(shè)計(jì)定型會(huì)，邀請(qǐng)全國(guó)各地用戶(hù)前來(lái)參加，鑒定雙極型中速和高速數(shù)字電路，以及線性電路。原計(jì)劃開(kāi)兩天會(huì), 但不幸28日清晨發(fā)生唐山大地震，第二天會(huì)議停開(kāi)。

 

1978年5月，蔣正華提任副廠長(zhǎng)，我接任技術(shù)科長(zhǎng)。一年半后，到1979年11月又提我和孫義芳擔(dān)任副總工程師，他原是北無(wú)校老師。我負(fù)責(zé)工藝和設(shè)計(jì)，他負(fù)責(zé)測(cè)試和設(shè)備。

這樣，經(jīng)過(guò)10年建設(shè)，878廠集成電路試制和生產(chǎn)工作進(jìn)入全面發(fā)展階段，國(guó)內(nèi)第一家集成電路專(zhuān)業(yè)化工廠建成，陸續(xù)為國(guó)內(nèi)軍工和各工業(yè)部門(mén)提供愈來(lái)愈多的各類(lèi)集成電路。

 

圖六、2英寸線、3英寸線國(guó)內(nèi)第一家單位：北京東光電工廠（878廠）

 

那時(shí)候，上海儀表局已將上海元件五廠五車(chē)間搬遷到漕河涇建成了上海無(wú)線電十九廠（簡(jiǎn)稱(chēng)上無(wú)十九廠），也是集成電路專(zhuān)業(yè)化工廠，專(zhuān)注生產(chǎn)雙極型數(shù)字電路。在計(jì)劃經(jīng)濟(jì)年代，上海上無(wú)十九廠和北京878廠被業(yè)界稱(chēng)為“南北兩霸”。那個(gè)年代國(guó)家實(shí)行計(jì)劃經(jīng)濟(jì)，每年春天和秋天召開(kāi)全國(guó)電子元器件訂貨會(huì)議，878廠生產(chǎn)的集成電路是最緊俏的產(chǎn)品之一，訂貨桌前總是排成長(zhǎng)龍，產(chǎn)品供不應(yīng)求，盛況持續(xù)10多年。

 

878廠人員組成，在建廠初期首先是四機(jī)部明確由774廠三室抽調(diào)的一部分技術(shù)人員，來(lái)到北無(wú)校后加上該校的老師和工人，以及籌備組招來(lái)的年輕工人。此外，還有一部分公安部實(shí)驗(yàn)工廠轉(zhuǎn)來(lái)的員工，以及當(dāng)時(shí)由國(guó)家分配來(lái)的1967至1969年畢業(yè)的大學(xué)生。因此，878廠早期主要技術(shù)人員為歷年畢業(yè)的清華大學(xué)、北京大學(xué)、成都電訊工程學(xué)院、西北電訊工程學(xué)院、南開(kāi)大學(xué)和北京無(wú)線電工業(yè)學(xué)校、南京無(wú)線電工業(yè)學(xué)校的畢業(yè)生。他們分布在各個(gè)車(chē)間和技術(shù)科，其中以清華大學(xué)畢業(yè)生人數(shù)最多，有20余人，曾在878廠大門(mén)口合影留念，參見(jiàn)圖七。

 

圖七、878廠的清華大學(xué)畢業(yè)生

自左至右：1朱貽瑋，2劉洪昆，3梁昌銳，9陸耀庭，10鄭敏政，14余慶長(zhǎng)

仲進(jìn)才等5人未入照

 

好幾個(gè)車(chē)間的技術(shù)骨干都是清華畢業(yè)的，如一車(chē)間技術(shù)副主任余慶長(zhǎng)是1967年畢業(yè)，六車(chē)間主任劉洪昆是1965年畢業(yè)（北無(wú)校老師），七車(chē)間副主任仲進(jìn)才是1967年畢業(yè)，九車(chē)間技術(shù)副主任鄭敏政是1969年畢業(yè)，十車(chē)間技術(shù)副主任梁昌銳是1961年畢業(yè)（北無(wú)校老師）。一車(chē)間主任則由北京大學(xué)1968年畢業(yè)的楊學(xué)明擔(dān)任。為了加強(qiáng)878廠的力量，部里于1974年又從774廠抽調(diào)108名技術(shù)人員和工人到878廠工作, 領(lǐng)頭人是白學(xué)光，他是北無(wú)校1958年畢業(yè)生，我剛到774廠參加工作時(shí)，他在十車(chē)間高頻晶體管工段任工段長(zhǎng)。調(diào)來(lái)人員中有南京工學(xué)院、浙江大學(xué)、成都電訊工程學(xué)院等校畢業(yè)的技術(shù)人員，以及一批1958年就參加工作的老工人。就是依靠建廠初期就來(lái)的一批技術(shù)人員，加上這一次增加的技術(shù)人員，支撐著878廠從建廠到興旺時(shí)期開(kāi)發(fā)新工藝、研制新產(chǎn)品和提高產(chǎn)品質(zhì)量工作，使878廠成為20世紀(jì)70年代我國(guó)重要的集成電路生產(chǎn)企業(yè)，為各工業(yè)部所屬?gòu)S所和中國(guó)科學(xué)院有關(guān)研究所各類(lèi)電子整機(jī)配套集成電路作出了不可磨滅的歷史性貢獻(xiàn)。

 

以前電路設(shè)計(jì)和工藝都由各車(chē)間內(nèi)部技術(shù)人員承擔(dān)。為了加強(qiáng)開(kāi)發(fā)新產(chǎn)品力量、加速雙極型中規(guī)模集成電路的設(shè)計(jì)進(jìn)程，后來(lái)決定在技術(shù)科里成立設(shè)計(jì)組，從一車(chē)間抽調(diào)一位有經(jīng)驗(yàn)的老技術(shù)員擔(dān)任組長(zhǎng)，并設(shè)法調(diào)來(lái)一位清華大學(xué)半導(dǎo)體專(zhuān)業(yè)畢業(yè)的研究生來(lái)設(shè)計(jì)組工作。安排一批恢復(fù)高考后第一屆大學(xué)畢業(yè)生到設(shè)計(jì)組。設(shè)計(jì)組培養(yǎng)出好幾位有相當(dāng)水平的電路設(shè)計(jì)人才，其中有兩位離開(kāi)878廠后，經(jīng)過(guò)在國(guó)內(nèi)和海外工作磨練逐漸成長(zhǎng)為集成電路設(shè)計(jì)公司和設(shè)計(jì)服務(wù)公司的領(lǐng)導(dǎo)人：屈祥生和谷建余。

 

878廠還為我國(guó)集成電路標(biāo)準(zhǔn)化制訂工作作出了貢獻(xiàn)。四機(jī)部四所為我國(guó)電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化研究所，負(fù)責(zé)制訂各種電子元器件和電子整機(jī)的標(biāo)準(zhǔn)。當(dāng)年878廠為集成電路標(biāo)準(zhǔn)化委員會(huì)數(shù)字電路分會(huì)主任委員單位，所制訂的標(biāo)準(zhǔn)還獲得四機(jī)部和國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)總局的嘉獎(jiǎng)。1982年由沈陽(yáng)47所鄭崇偉帶隊(duì)，我和四所蔡仁明三人一起參加了在英國(guó)倫敦舉行的國(guó)際電工委員會(huì)舉辦的半導(dǎo)體和集成電路行業(yè)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化會(huì)議。會(huì)后還參觀了3家英國(guó)集成電路公司。此外，878廠和上無(wú)十九廠等廠家還協(xié)助四機(jī)部財(cái)務(wù)司在制訂集成電路價(jià)格上發(fā)揮過(guò)作用。當(dāng)年我和廠里財(cái)會(huì)科周子學(xué)曾參加四機(jī)部在南昌舉行的電子產(chǎn)品訂價(jià)會(huì)議。

 

878廠還為支持兄弟企業(yè)培訓(xùn)人才和接待大學(xué)在校學(xué)生實(shí)習(xí)作出貢獻(xiàn)。記得李典舉曾經(jīng)由部里調(diào)到北京市工作，那時(shí)他建議北京市半導(dǎo)體器件三廠上CMOS電路。當(dāng)時(shí)878廠還在研制PMOS和NMOS電路階段。他聯(lián)系安排器件三廠技術(shù)人員和工人到878廠MOS電路車(chē)間進(jìn)行實(shí)習(xí)。878廠還不止一次地接待清華大學(xué)等大專(zhuān)院校學(xué)生來(lái)廠實(shí)習(xí)。清華大學(xué)半導(dǎo)體專(zhuān)業(yè)陳天鑫教授曾帶領(lǐng)學(xué)生來(lái)878廠新工藝組一起開(kāi)展表面鈍化工藝試驗(yàn)，對(duì)比幾種鈍化工藝的效果。

 

早在1973年9月，在中日恢復(fù)邦交一周年之際，中國(guó)派出電子工業(yè)考察團(tuán)訪問(wèn)日本。由中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所王守武任團(tuán)長(zhǎng)，四機(jī)部李德廣任副團(tuán)長(zhǎng)。全團(tuán)共計(jì)14人，其中研究單位7人，生產(chǎn)系統(tǒng)7人。來(lái)自研究所的還有中科院半導(dǎo)體所馬俊如、中科院上海冶金所劉振元、南京55所林金庭、石家莊13所金圣東（兼翻譯）、臨潼771所馬慶魁和航天部九院楊禮和，生產(chǎn)系統(tǒng)還有四機(jī)部李會(huì)昌、878廠陸耀庭和朱貽瑋、700廠畢紹剛、甘肅設(shè)備廠安增琪和第十設(shè)計(jì)院韋蔭輝。參見(jiàn)圖八。

 

圖八、1973年赴日考察團(tuán)

照片自右數(shù)起：2朱貽瑋，5陸耀庭，11李會(huì)昌，14王守武，15李德廣

 

考察團(tuán)參觀訪問(wèn)了日本8家集成電路制造企業(yè)：日立、東芝、日本電氣、松下、三菱、富士通、夏普和沖電氣，以及半導(dǎo)體設(shè)備和測(cè)試儀器制造公司、材料生產(chǎn)公司、制版公司和潔凈廠房設(shè)計(jì)單位。當(dāng)時(shí)日本已經(jīng)采用3英寸硅圓片實(shí)行規(guī)模化大生產(chǎn)，后部封裝已經(jīng)采用單機(jī)自動(dòng)化生產(chǎn)。在日本考察期間，全體團(tuán)員曾對(duì)要否從國(guó)外引進(jìn)技術(shù)展開(kāi)討論，部分團(tuán)員認(rèn)為：為了加快趕上國(guó)外先進(jìn)水平有必要引進(jìn)技術(shù)，另一部分則認(rèn)為只要引進(jìn)工藝設(shè)備，技術(shù)可以自行開(kāi)發(fā)。當(dāng)時(shí)日本電氣公司（NEC）表示可以轉(zhuǎn)讓3英寸線全線設(shè)備和技術(shù)，并報(bào)出價(jià)格。有三種技術(shù)：雙極型數(shù)字電路、雙極型線性電路和MOS電路（當(dāng)時(shí)還是PMOS和NMOS電路）。一種技術(shù)和設(shè)備3000萬(wàn)美元，兩種技術(shù)和設(shè)備4000萬(wàn)美元，三種技術(shù)和設(shè)備5000萬(wàn)美元。回國(guó)之后，全體團(tuán)員向國(guó)防科委錢(qián)學(xué)森作了匯報(bào)。由于當(dāng)時(shí)還處在文化大革命期間，四機(jī)部大院里有一位第十設(shè)計(jì)院干部貼出大字報(bào)，當(dāng)時(shí)稱(chēng)為“蝸牛事件”，批判部領(lǐng)導(dǎo)從國(guó)外引進(jìn)是“洋奴哲學(xué)，爬行主義”。加上那時(shí)候國(guó)家缺乏資金，部里為878廠引進(jìn)項(xiàng)目準(zhǔn)備的資金只有1500萬(wàn)美元。因此丟失了從NEC公司全線引進(jìn)設(shè)備和技術(shù)的機(jī)會(huì)。如果當(dāng)年能引進(jìn)NEC公司技術(shù)，中國(guó)大陸發(fā)展集成電路的速度會(huì)加快不少，那時(shí)候臺(tái)灣工研院電子所還沒(méi)有從美國(guó)RCA公司引進(jìn)鋁柵CMOS技術(shù)。我們考察回來(lái)后寫(xiě)出考察報(bào)告，印刷后報(bào)有關(guān)單位，并且在北京和江南地區(qū)作了幾次大會(huì)匯報(bào)，向國(guó)內(nèi)同行們介紹了日本發(fā)展集成電路的狀況，使當(dāng)時(shí)還處于封閉狀況下的國(guó)內(nèi)同行對(duì)國(guó)外發(fā)展集成電路狀況有了比較詳細(xì)和深入的了解。

 

三、878廠、774廠、器件二廠發(fā)展階段

 

在四機(jī)部建立878廠之后，在878廠發(fā)展同時(shí)，774廠并沒(méi)有放棄集成電路，而且北京市也在酒仙橋地區(qū)西八間房把北京市電機(jī)學(xué)校改為北京市半導(dǎo)體器件二廠（簡(jiǎn)稱(chēng)器件二廠），在生產(chǎn)晶體管之外，也發(fā)展集成電路。這樣，在上世紀(jì)70～80年代酒仙橋地區(qū)形成了三家生產(chǎn)集成電路企業(yè)的局面。這一時(shí)期三家企業(yè)都有比較大的發(fā)展，形成你追我趕的形勢(shì)，也就是比較興旺發(fā)達(dá)的時(shí)期。

 

878廠發(fā)展情況：

在一車(chē)間生產(chǎn)雙極型數(shù)字電路、二車(chē)間生產(chǎn)雙極型線性電路之后，當(dāng)國(guó)內(nèi)研究單位（大學(xué)和研究所）開(kāi)始研究MOS（金屬氧化物半導(dǎo)體）電路之時(shí)，878廠新建了小凈化廠房也開(kāi)始研制MOS電路，開(kāi)始搞的是PMOS和NMOS電路。這個(gè)小凈化廠房是由四機(jī)部第十設(shè)計(jì)院設(shè)計(jì)的，它是中國(guó)半導(dǎo)體企業(yè)頭一個(gè)試用空氣凈化技術(shù)來(lái)建造半導(dǎo)體車(chē)間，光刻間采用垂直層流。以前所用的硅片開(kāi)始時(shí)為小方片，后來(lái)都改為不規(guī)則的小圓片，直徑為30幾毫米。四機(jī)部組織國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備制造單位為878廠小凈化車(chē)間配套2英寸（50毫米）試制線工藝設(shè)備，這是國(guó)內(nèi)第一次嘗試組織全國(guó)設(shè)備廠為半導(dǎo)體廠全線配套制造集成電路工藝設(shè)備。位于774廠后面的700廠就研制了用于2英寸硅片的程控雙管擴(kuò)散爐供給小凈化車(chē)間試用。878廠在國(guó)內(nèi)首家采用2英寸線研制出三片式NMOS四位微處理器大規(guī)模集成電路（簡(jiǎn)稱(chēng)四位機(jī)電路）。當(dāng)時(shí)電路的線路由部里組織浙江溫州、安徽合肥和湖南邵陽(yáng)三家整機(jī)單位出人共同參與設(shè)計(jì)，版圖則由878廠七車(chē)間技術(shù)人員設(shè)計(jì)。

 

1978年之后，經(jīng)過(guò)全廠組織技術(shù)攻關(guān)，中速TTL電路和高速S-TTL電路由部標(biāo)提升到靠美國(guó)得克薩斯公司74和74S系列標(biāo)準(zhǔn)。經(jīng)過(guò)電路改進(jìn)設(shè)計(jì)，工藝采用薄外延、淺結(jié)新工藝，將中速電路和高速電路首先各有一個(gè)品種達(dá)到設(shè)計(jì)定型。然后生產(chǎn)出一批參數(shù)全部達(dá)到得克薩斯標(biāo)準(zhǔn)的中、小規(guī)模集成電路提供給改進(jìn)后的DJS130型電子計(jì)算機(jī)。而且，TTL車(chē)間在技術(shù)科產(chǎn)品設(shè)計(jì)組參與下，大力開(kāi)發(fā)中規(guī)模集成電路，以滿(mǎn)足整機(jī)用戶(hù)新的需求。因此878廠兩次獲得部里科技成果獎(jiǎng)：1981年2月獲得部級(jí)優(yōu)秀科技成果獎(jiǎng)，1982年12月獲得部級(jí)科技成果獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)。之后又研制了低功耗肖特基電路，即LS-TTL型電路，也形成系列，并投入生產(chǎn)。

 

與此同時(shí)，在使用扁平型陶瓷外殼之后，878廠開(kāi)始研究生產(chǎn)雙列直插式（DIP）封裝，有塑料封裝，使用環(huán)氧樹(shù)脂和硅酮兩種材料；還有陶瓷封裝，有黑陶瓷低熔點(diǎn)玻璃式和白陶瓷金屬式兩種。陶瓷封裝為氣密性封裝，使用核質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行檢漏，以滿(mǎn)足軍用電子整機(jī)使用要求。

 

在開(kāi)發(fā)新產(chǎn)品同時(shí)，廠里根據(jù)軍工使用單位的要求，通過(guò)各種試驗(yàn)，采取各種措施，拓寬TTL電路使用工作溫度范圍，生產(chǎn)了Ⅱ類(lèi)電路，工作溫度范圍為：－40～＋85°C，ⅠA類(lèi)電路，工作溫度范圍為：－55～＋85°C，乃至Ⅰ類(lèi)電路，工作溫度范圍達(dá)到－55～＋125°C。而一般民用電路的工作溫度范圍是－10～＋70°C，為Ⅲ類(lèi)電路。當(dāng)年為滿(mǎn)足武漢710廠和寶雞769廠坦克電臺(tái)野外工作的要求，起初提供Ⅱ類(lèi)中速電路，后來(lái)提供ⅠA類(lèi)電路。之后，為滿(mǎn)足七機(jī)部航天和軍用整機(jī)的要求，又專(zhuān)門(mén)生產(chǎn)“七專(zhuān)”電路，當(dāng)時(shí)電路質(zhì)量考核執(zhí)行美國(guó)883軍用標(biāo)準(zhǔn)，之后又提高為38510標(biāo)準(zhǔn)。為了向客戶(hù)提供集成電路可靠性數(shù)據(jù)，我們還提供了試驗(yàn)電路，在中國(guó)科學(xué)院原子能研究所做長(zhǎng)期高溫帶電老化試驗(yàn)，試驗(yàn)結(jié)果表明878廠生產(chǎn)的集成電路可靠性達(dá)到10的負(fù)7次方的水平，這在當(dāng)年同行中首屈一指。

 

為貫徹國(guó)務(wù)院成都會(huì)議精神，軍工廠要貫徹“軍民結(jié)合”的方針。為此，自1979年8月開(kāi)始，線性電路車(chē)間上電視機(jī)和錄音機(jī)電路。當(dāng)時(shí)電視機(jī)電路仿日本三洋公司黑白電視機(jī)所采用的日本NEC公司upc系列3塊電路。我記得試制出樣品后送上海無(wú)線電四廠試用。當(dāng)時(shí)紹興871廠分廠和韓國(guó)三星公司也送去樣品。三家樣品中各有1塊電路滿(mǎn)足要求，三家樣品湊在一起才能配套。當(dāng)時(shí)都對(duì)電視機(jī)電路沒(méi)有了解透，因而沒(méi)能形成產(chǎn)量。而錄音機(jī)電路則選了當(dāng)時(shí)風(fēng)靡一時(shí)的磚頭式錄音機(jī)所用4100系列電路，878廠投產(chǎn)后供用戶(hù)大量使用。

在小凈化車(chē)間投入使用之后，四機(jī)部又決定在878廠興建大凈化廠房。廠房仍由四機(jī)部第十設(shè)計(jì)院設(shè)計(jì)，但是水電氣仍由774廠動(dòng)力部門(mén)提供，未建獨(dú)立的氣站。這是我國(guó)第一個(gè)用于半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)的潔凈廠房，于1980年2月建成驗(yàn)收，參見(jiàn)圖九。

 

圖九、878廠大凈化廠房

 

1978年6月，四機(jī)部決定878廠以拼盤(pán)形式從日本和美國(guó)引進(jìn)3英寸工藝設(shè)備，形成一條完整的集成電路芯片生產(chǎn)線。當(dāng)時(shí)廠里主要由陸耀庭負(fù)責(zé)對(duì)外談判購(gòu)買(mǎi)設(shè)備，他是清華大學(xué)半導(dǎo)體專(zhuān)業(yè)1962年畢業(yè)。四機(jī)部半導(dǎo)體處和之后于1980年成立的中國(guó)電子器件工業(yè)總公司（簡(jiǎn)稱(chēng)器件總公司）半導(dǎo)體處對(duì)878廠從國(guó)外引進(jìn)3英寸芯片生產(chǎn)線長(zhǎng)期進(jìn)行指導(dǎo)和幫助，特別是器件總公司副總工程師李會(huì)昌自始至終付出了極大的努力。當(dāng)時(shí)部里為加強(qiáng)集成電路領(lǐng)域工作，人事組織部門(mén)要從878廠抽調(diào)一名年輕技術(shù)干部到部里工作，點(diǎn)名兩人，分別是一車(chē)間和九車(chē)間技術(shù)副主任。蔣正華和我商量結(jié)果送九車(chē)間技術(shù)副主任鄭敏政去部里，他之后長(zhǎng)期在部里從事集成電路管理工作。

 

在小凈化車(chē)間投入使用，大凈化廠房建設(shè)期間,四機(jī)部為加快878廠上MOS電路，專(zhuān)門(mén)安排位于四川永川的24所于1981年派了一批搞MOS電路的技術(shù)人員在所領(lǐng)導(dǎo)帶領(lǐng)下來(lái)到878廠協(xié)助小凈化車(chē)間和大凈化廠房工作。當(dāng)年部里還希望878廠能接24所或位于沈陽(yáng)的47所各自研究開(kāi)發(fā)的、仿美國(guó)莫托洛拉6800系列微處理器電路。為此，我與一位技術(shù)員先去沈陽(yáng)47所調(diào)研。到了所里后，剛從47所調(diào)至沈陽(yáng)市擔(dān)任市委書(shū)記不久的李鐵映聞?dòng)嵒氐剿飦?lái)，掛起電話(huà)打到部里與何華生副部長(zhǎng)通話(huà)，說(shuō)878廠朱貽瑋來(lái)47所了，希望部里安排878廠接47所的6800系列產(chǎn)品。何部長(zhǎng)就在電話(huà)里對(duì)我說(shuō)，你們就接47所產(chǎn)品吧！這樣，我倆回廠匯報(bào)后就接了47所產(chǎn)品，也沒(méi)再去永川24所調(diào)研了。接47所6800系列電路后來(lái)安排在大凈化廠房?jī)?nèi)流片，而存儲(chǔ)器EPROM品種則安排在小凈化車(chē)間流片。

 

為加強(qiáng)878廠的領(lǐng)導(dǎo)力量，四機(jī)部之前曾經(jīng)考慮調(diào)沈陽(yáng)47所副所長(zhǎng)兼總工程師李鐵映來(lái)?yè)?dān)任878廠廠長(zhǎng)兼總工程師，后因沈陽(yáng)市提拔李鐵映擔(dān)任市委書(shū)記而作罷。后來(lái)，當(dāng)大凈化廠房在第一任廠長(zhǎng)鄺少凡及其后蔣正華副廠長(zhǎng)主抓廠房建設(shè)和引進(jìn)工藝設(shè)備基本就緒后，四機(jī)部才從石家莊13所把時(shí)任副所長(zhǎng)兼副總工程師的俞忠鈺調(diào)來(lái)878廠擔(dān)任總工程師職務(wù)，以加強(qiáng)878廠技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)力量。俞忠鈺是774廠朱恩均北大的同學(xué)，正式調(diào)來(lái)前曾托朱恩均打電話(huà)給我，表示愿來(lái)878廠工作，征求我們意見(jiàn)。我與蔣正華副廠長(zhǎng)商量后都表示歡迎。1982年初部里調(diào)俞忠來(lái)878廠，當(dāng)時(shí)廠長(zhǎng)是郭殿奎，第一任廠長(zhǎng)鄺少凡已于1980年調(diào)去部里籌建中國(guó)電子器件工業(yè)總公司了。俞忠鈺來(lái)廠之后開(kāi)始一段時(shí)間住在廠里、吃在廠里，整日主抓大凈化廠房?jī)?nèi)3英寸工藝線通線工作。在他具體領(lǐng)導(dǎo)下，在大凈化車(chē)間領(lǐng)導(dǎo)干部和全體技術(shù)人員及工人們齊心努力下，我國(guó)第一條3英寸工藝線正式通線，在3英寸線上流通了雙極型線性電路工藝和MOS型數(shù)字電路工藝，其中包括由香港興華公司轉(zhuǎn)來(lái)的鋁柵CMOS五功能電子手表電路。他來(lái)廠以后主推上CMOS電路，不僅安排技術(shù)科產(chǎn)品設(shè)計(jì)組成員設(shè)計(jì)CMOS電路，還要求技術(shù)科和TTL車(chē)間技術(shù)人員也設(shè)計(jì)CMOS電路，當(dāng)時(shí)主要是小規(guī)模數(shù)字電路。這樣一來(lái)，878廠產(chǎn)品系列包括了雙極型數(shù)字電路和線性電路，CMOS型數(shù)字電路，以及NMOS型大規(guī)模集成電路。在大凈化車(chē)間流了七車(chē)間研發(fā)的NMOS四位微處理器電路和從沈陽(yáng)47所移轉(zhuǎn)來(lái)的6800系列八位微處理器電路。由于國(guó)內(nèi)第一條3英寸線流通和一批電路品種投入生產(chǎn)，878廠在1983年獲得電子部科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)四項(xiàng)、二等獎(jiǎng)一項(xiàng)，在1984年獲得電子部科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)三項(xiàng)，在1985年獲得國(guó)家科技進(jìn)步三等獎(jiǎng)一項(xiàng)、電子部科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)五項(xiàng)。

 

在俞忠鈺來(lái)后不久，廠長(zhǎng)又換為從774廠調(diào)來(lái)的陸凎生擔(dān)任。但沒(méi)過(guò)多久，趙紫陽(yáng)當(dāng)政時(shí)期，要求廠長(zhǎng)年輕化，到了55歲就要換班。在此歷史條件下，上級(jí)領(lǐng)導(dǎo)機(jī)關(guān)又于1984年6月任命俞忠鈺接替陸凎生擔(dān)任廠長(zhǎng)。他上任之后提七車(chē)間搞NMOS大規(guī)模集成電路設(shè)計(jì)的副主任仲進(jìn)才擔(dān)任總工程師，讓我擔(dān)任副廠長(zhǎng)，主抓產(chǎn)品應(yīng)用加強(qiáng)經(jīng)銷(xiāo)業(yè)務(wù)。在此之后，我組織技術(shù)科、新品科、應(yīng)用組和標(biāo)準(zhǔn)化組編制了三大厚本產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)：雙極型數(shù)字電路、雙極型線性電路和MOS型數(shù)字電路。這三大本說(shuō)明書(shū)標(biāo)志著878廠興旺時(shí)期產(chǎn)品的最高成果。

 

廠應(yīng)用組把四位機(jī)電路推廣應(yīng)用到機(jī)床技術(shù)改造和數(shù)字化電子秤制造上。1984年9月我代表878廠參加了國(guó)家經(jīng)委在南京召開(kāi)的全國(guó)機(jī)電一體化技術(shù)改造現(xiàn)場(chǎng)會(huì)議。時(shí)任國(guó)家經(jīng)委副主任的朱熔基主持會(huì)議，并聽(tīng)取了各單位經(jīng)驗(yàn)介紹發(fā)言。我代表878廠在大會(huì)上作了匯報(bào)發(fā)言，并領(lǐng)取了大會(huì)頒發(fā)的獎(jiǎng)狀，獎(jiǎng)狀上寫(xiě)道：“積極采用微電子技術(shù)更新改造機(jī)床取得成績(jī)，特此表彰”。878廠還在會(huì)上展示了應(yīng)用開(kāi)發(fā)項(xiàng)目的實(shí)物和圖片，時(shí)任電子工業(yè)部（1982年5月成立電子工業(yè)部）副部長(zhǎng)的李瑞也到場(chǎng)參觀。參見(jiàn)圖十、圖十一和圖十二。

 

圖十、878廠在全國(guó)機(jī)電一體化技術(shù)改造現(xiàn)場(chǎng)會(huì)議上發(fā)言

右2發(fā)言者朱貽瑋，右3朱熔基

 圖十一、878廠在大會(huì)上領(lǐng)取獎(jiǎng)狀

 

圖十二、電子部李瑞副部長(zhǎng)參觀展出實(shí)物和照片

右1講解者朱貽瑋，右2李瑞

 

作為國(guó)內(nèi)第一家2英寸線和3英寸線的878廠鼎盛時(shí)期一直持續(xù)至上世紀(jì)80年代中期。

1986年6月，電子部調(diào)俞忠鈺到中國(guó)電子器件工業(yè)總公司，接替要退休的權(quán)玉臣擔(dān)任總經(jīng)理，并兼總工程師。之后878廠廠長(zhǎng)隔不了幾年就換一個(gè)。到最后一任雖然年輕，工作也很努力，但已無(wú)力挽回局面，一直走下坡路，直至退出集成電路行業(yè)。

 

為什么國(guó)家重點(diǎn)培養(yǎng)扶植的第一個(gè)半導(dǎo)體集成電路專(zhuān)業(yè)化工廠、曾被業(yè)者譽(yù)為“北霸天”的878廠后來(lái)會(huì)衰落下去，一步一步退出歷史舞臺(tái)？這一問(wèn)題始終沒(méi)有人深入探討分析原因。在此時(shí)此處我想發(fā)表我個(gè)人的5點(diǎn)見(jiàn)解，供大家思索參考。

 

首先，雖然878廠是我國(guó)2英寸線和3英寸線第一家，但在大凈化車(chē)間3英寸線通線投產(chǎn)后沒(méi)能達(dá)到規(guī)模經(jīng)濟(jì)的產(chǎn)量。采用多品種小規(guī)模CMOS電路作為主要產(chǎn)品系列沒(méi)能構(gòu)成大量生產(chǎn)的條件。后來(lái)曾想接產(chǎn)沙河研究所的5塊彩色電視機(jī)電路，雖有市場(chǎng)需求，但因產(chǎn)品本身未過(guò)關(guān)，沒(méi)能接產(chǎn)成功。

 

其次，878廠雖為部里重點(diǎn)發(fā)展單位，但后來(lái)缺乏穩(wěn)定的強(qiáng)有力的廠長(zhǎng)領(lǐng)導(dǎo)。建廠初期較長(zhǎng)時(shí)間擔(dān)任廠長(zhǎng)的鄺少凡在四機(jī)部設(shè)立中國(guó)電子器件工業(yè)總公司時(shí)被調(diào)去參加組建工作。之后各任廠長(zhǎng)干不了幾年就換廠長(zhǎng)，這樣只顧短期經(jīng)營(yíng)，缺乏長(zhǎng)期規(guī)劃。記得建廠初期，附近的海軍701廠曾想把廠房和廠地賣(mài)給878廠，把他們廠搬到公主墳海軍司令部附近去。但是當(dāng)時(shí)878廠領(lǐng)導(dǎo)缺乏長(zhǎng)期考慮而沒(méi)買(mǎi)。不像無(wú)錫742廠從棉花巷開(kāi)始，搬至大王基之后，一直發(fā)展到后來(lái)組成華晶公司，長(zhǎng)期由王洪金擔(dān)任廠長(zhǎng)和總經(jīng)理，對(duì)企業(yè)經(jīng)營(yíng)長(zhǎng)期實(shí)行強(qiáng)有力的領(lǐng)導(dǎo)，后來(lái)又在四機(jī)部及之后電子部持續(xù)大力支持下，使企業(yè)有更大的發(fā)展。

 

第三，計(jì)劃經(jīng)濟(jì)時(shí)代，國(guó)營(yíng)工廠產(chǎn)生利潤(rùn)全部上繳國(guó)家，工廠需要技術(shù)改造時(shí)要立項(xiàng)申請(qǐng)批準(zhǔn)后才能獲到資金予以實(shí)施。據(jù)878廠財(cái)務(wù)科長(zhǎng)說(shuō)，計(jì)劃經(jīng)濟(jì)年代878廠上繳利潤(rùn)曾達(dá)當(dāng)初總投資額的8倍。但在改革開(kāi)放后，上級(jí)單位中國(guó)電子器件工業(yè)總公司把大量資金投到深圳去了。而且，當(dāng)四機(jī)部下決心上電視機(jī)時(shí)，廣播電視處選擇配套的集成電路生產(chǎn)點(diǎn)時(shí)，選中了位于無(wú)錫大運(yùn)河旁、風(fēng)景優(yōu)美的錫山公園附近的742廠。從此部資金支持重點(diǎn)轉(zhuǎn)向無(wú)錫742廠。之后878廠很難再取得部里資金支持。

 

第四，集成電路芯片業(yè)不進(jìn)則退。878廠在投產(chǎn)3英寸線后，器件總公司曾從美國(guó)仙童公司引進(jìn)一條4英寸二手設(shè)備線，三分之二給了甘肅871廠，三分之一給了878廠。但是當(dāng)初878廠領(lǐng)導(dǎo)沒(méi)有及時(shí)抓住搞技術(shù)改造，后來(lái)北京市領(lǐng)導(dǎo)決定組建北京燕東微電子聯(lián)合公司時(shí)，878廠把4英寸設(shè)備投到燕東公司去了。這對(duì)878廠而言，失去了繼續(xù)前進(jìn)的機(jī)會(huì)。

 

第五，集成電路企業(yè)要長(zhǎng)盛不衰，就要不斷開(kāi)發(fā)新工藝、研制新產(chǎn)品。878廠在技術(shù)科內(nèi)曾設(shè)有新工藝組，也曾成立新品科，但是沒(méi)有持之以恒。在由雙極型電路往MOS型電路發(fā)展過(guò)程中，曾欲接產(chǎn)沈陽(yáng)47所6800系列產(chǎn)品和EPROM產(chǎn)品，但從47所轉(zhuǎn)來(lái)的6800系列各產(chǎn)品，除6850這一接口電路外，都沒(méi)有全面達(dá)到性能參數(shù)指標(biāo)，而不能定型投產(chǎn)；EPROM在小凈化車(chē)間投片多批，參數(shù)都達(dá)不到指標(biāo)，在財(cái)會(huì)科周子學(xué)提議下停止再投片。工廠沒(méi)能得到國(guó)內(nèi)研究所的有效支持也是因素之一。

 

到后期，878廠雙極型線性電路和MOS型數(shù)字電路都缺乏市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力，大規(guī)模集成電路也沒(méi)有沖上去，主要還是靠原來(lái)的雙極型TTL軍品數(shù)字電路維持好多年。最后，在國(guó)內(nèi)外激烈的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)中878廠逐漸衰退下去，乃至退出集成電路行列。

 

作為國(guó)內(nèi)集成電路第一個(gè)專(zhuān)業(yè)化工廠雖然退出了歷史舞臺(tái)，但是她為電子工業(yè)部和國(guó)家計(jì)委輸送了好幾位干部，后來(lái)成為管理國(guó)家集成電路行業(yè)的領(lǐng)導(dǎo)干部。在電子部里鄭敏政擔(dān)任了微電子司副司長(zhǎng)；后來(lái)也去部里工作的劉洪昆擔(dān)任了科技司司長(zhǎng)；俞忠鈺從器件總公司轉(zhuǎn)到部里后任微電子器件局局長(zhǎng)，后又升至總工程師；周子學(xué)也早已調(diào)到部里，機(jī)關(guān)改制到信息產(chǎn)業(yè)部時(shí)擔(dān)任了經(jīng)濟(jì)體制改革與經(jīng)濟(jì)運(yùn)行司司長(zhǎng)，后來(lái)又擔(dān)任了之后成立的工業(yè)和信息化部財(cái)務(wù)司司長(zhǎng)、總經(jīng)濟(jì)師；當(dāng)年入廠的年輕工人歐新黔（后來(lái)為工農(nóng)兵大學(xué)生）經(jīng)過(guò)國(guó)家經(jīng)貿(mào)委后轉(zhuǎn)到國(guó)家計(jì)委擔(dān)任了副主任。俞忠鈺后來(lái)又擔(dān)任了中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)理事長(zhǎng)，周子學(xué)在2015年3月出任中芯國(guó)際公司董事長(zhǎng)，然后又兼任中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)理事長(zhǎng)。他（她）們?cè)诟髯缘念I(lǐng)導(dǎo)崗位上為我國(guó)集成電路行業(yè)的發(fā)展發(fā)揮了不小的作用，周子學(xué)則還在現(xiàn)今崗位上繼續(xù)發(fā)揮作用。盡管從878廠調(diào)出這么多位到國(guó)家領(lǐng)導(dǎo)機(jī)關(guān)工作，后來(lái)都還承擔(dān)了相當(dāng)重要的領(lǐng)導(dǎo)職務(wù)，但是卻對(duì)老廠878廠走向衰退恰無(wú)能為力，這不能不說(shuō)是歷史可悲之處。

 

774廠發(fā)展情況：

 

四機(jī)部在北京建設(shè)第一個(gè)集成電路專(zhuān)業(yè)化工廠878廠之后，774廠并沒(méi)有因此放棄集成電路這一新生的產(chǎn)品門(mén)類(lèi)。再加上在文化大革命軍管會(huì)期間，在全國(guó)大辦電子工業(yè)到處建集成電路工廠的形勢(shì)下，總廠在前區(qū)樓房里成立了集成電路車(chē)間，把原來(lái)試驗(yàn)室固體電路大組留下的技術(shù)人員調(diào)過(guò)去，繼續(xù)研制和生產(chǎn)雙極型數(shù)字電路；同時(shí)把原來(lái)生產(chǎn)鍺高頻管的車(chē)間改為研制和生產(chǎn)雙極型線性電路車(chē)間；還成立了研制微波砷化鎵器件和微波集成電路的車(chē)間，研制的產(chǎn)品為軍工服務(wù)。那段時(shí)間內(nèi)，廠里一共三個(gè)單位熱熱鬧鬧地搞了好幾年，但是由于資金不足，形成不了規(guī)模生產(chǎn)，產(chǎn)品缺乏市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力，三個(gè)車(chē)間都陸續(xù)下馬了。之后又成立一個(gè)新品試驗(yàn)室，主要做微波晶體管和微波集成電路，同樣由于形成不了規(guī)模生產(chǎn)，維持時(shí)間也不長(zhǎng)。后來(lái)又在后廠區(qū)建了一個(gè)821廠房，也稱(chēng)為小凈化車(chē)間，從事硅晶體管的生產(chǎn)，但規(guī)模不大。

 

上世紀(jì)70年代末，國(guó)家為了加強(qiáng)國(guó)防，打算從以色列引進(jìn)坦克電臺(tái)，當(dāng)時(shí)稱(chēng)為“三七”工程。由四機(jī)部組織對(duì)外談判。原來(lái)在清華大學(xué)與我同班同學(xué)秦鵬1964年畢業(yè)后也分到774廠工作，但沒(méi)幾年調(diào)出廠，經(jīng)過(guò)幾個(gè)單位工作后，于1979年由六所調(diào)入四機(jī)部四局半導(dǎo)體處, 當(dāng)時(shí)處長(zhǎng)是李會(huì)昌。秦鵬正趕上參加對(duì)外談判。為坦克電臺(tái)要配套大規(guī)模集成電路，可供選擇的配套工廠有北京774廠和878廠、無(wú)錫742廠，以及成都970廠。當(dāng)初大國(guó)防工辦為此還作了調(diào)查，他們來(lái)878廠調(diào)研時(shí)我接待了他們。秦鵬考慮到放在北京比較方便，又由于他對(duì)母廠774廠的情感，從一開(kāi)始便推薦了774廠作為承擔(dān)單位，并讓他們的技術(shù)人員參加技術(shù)談判。這樣，600多萬(wàn)美元的大型集成電路引進(jìn)生產(chǎn)線項(xiàng)目在處、局獲得通過(guò)后落實(shí)到774廠。后來(lái)又加了一個(gè)幾百萬(wàn)美元的彩色電視配套電路項(xiàng)目，兩項(xiàng)合計(jì)774廠獲得了1000多萬(wàn)美元的發(fā)展基金。這是部里為了給這個(gè)老廠一次技術(shù)改造機(jī)會(huì)，為了幫助老企業(yè)增加活力。為此，774廠把原來(lái)玻璃分廠的車(chē)間改造成為半導(dǎo)體凈化車(chē)間，稱(chēng)作811廠房。1980年后也從國(guó)外引進(jìn)了一條拼盤(pán)3英寸線工藝設(shè)備，目標(biāo)是為“三七”工程配套9塊專(zhuān)用大規(guī)模集成電路，為MOS和CMOS工藝。當(dāng)時(shí)配套的厚膜電路則安排在大山子798廠內(nèi)。為了加快研制9塊專(zhuān)用大規(guī)模集成電路，在引進(jìn)生產(chǎn)線尚未開(kāi)工時(shí)，先到878廠小凈化車(chē)間生產(chǎn)線上試制，并出了樣品。到1986年移植到774廠引進(jìn)生產(chǎn)線上投片，很快完成了樣品的研制。但是，后來(lái)由于“三七”工程總體整機(jī)計(jì)劃發(fā)生變化，沒(méi)有執(zhí)行下去，774廠工藝設(shè)備引進(jìn)后并沒(méi)有再生產(chǎn)配套的專(zhuān)用大規(guī)模集成電路。在此情況下，廠里曾經(jīng)設(shè)計(jì)了6片式黑白電視機(jī)電路，試制出了樣品，但是也沒(méi)有形成規(guī)模生產(chǎn)。由于沒(méi)有找到合適的可生產(chǎn)的集成電路產(chǎn)品，加上引進(jìn)生產(chǎn)線運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用很高，不能維持生產(chǎn)線的運(yùn)轉(zhuǎn)，在此情況下，總廠只好決定把811廠房改回來(lái)生產(chǎn)晶體管。曾經(jīng)與香港4D公司合作，要生產(chǎn)npn和pnp晶體管，做了工藝試驗(yàn)，但沒(méi)有等產(chǎn)品投入批量生產(chǎn)，由于虧損付不出廠內(nèi)動(dòng)力費(fèi)用，動(dòng)力部門(mén)最后停止供應(yīng)水電氣，工藝線從此停止運(yùn)轉(zhuǎn)。那時(shí)候王東升剛接任廠長(zhǎng)，總廠也處于多年虧損之中，沒(méi)有財(cái)力支撐811凈化廠房的運(yùn)行。這樣，部里對(duì)774廠這次技術(shù)改造項(xiàng)目的重大投資打水漂。從此，774廠退出集成電路行列。

 

之后北京電子管廠在連續(xù)虧損7年后，年輕廠長(zhǎng)王東生帶領(lǐng)員工自籌650萬(wàn)元種子基金進(jìn)行股份制改造，創(chuàng)辦北京東方電子集團(tuán)股份有限公司，后改名為京東方科技集團(tuán)股份有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)京東方），企業(yè)經(jīng)過(guò)優(yōu)化組合，轉(zhuǎn)向發(fā)展液晶顯示屏（液晶面板）方向，經(jīng)過(guò)20多年努力奮斗，成長(zhǎng)為一家極具競(jìng)爭(zhēng)力的全球顯示產(chǎn)業(yè)領(lǐng)先企業(yè)。企業(yè)轉(zhuǎn)型成功了，但這是后話(huà)了。

 

器件二廠發(fā)展情況：

 

北京市半導(dǎo)體器件二廠所在地原來(lái)是北京市電機(jī)學(xué)校，是屬于北京市的一所中等專(zhuān)科學(xué)校，位于京密路旁萬(wàn)紅西街上, 離774廠不遠(yuǎn)。在文化大革命中全國(guó)大上電子工業(yè)期間，1968年下半年北京市把電機(jī)學(xué)校也改為半導(dǎo)體工廠。北京市把位于沙河的北京市無(wú)線電器件研究所（簡(jiǎn)稱(chēng)沙河研究所）的兩條半導(dǎo)體工藝線搬到器件二廠來(lái)，以投入生產(chǎn)。1969年1月6日從沙河所調(diào)來(lái)一大批技術(shù)人員，與電機(jī)學(xué)校老師們共同建設(shè)器件二廠。一條線做平面型晶體管，另一條線上集成電路。除兩條線上技術(shù)人員之外，調(diào)來(lái)的還包括硅單晶片磨片和外延工藝、四氯化硅制備工藝、測(cè)試儀器研制技術(shù)人員。硅平面型晶體管先投產(chǎn)，產(chǎn)量很大，向全國(guó)供貨。北京市儀表局還在器件二廠開(kāi)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)會(huì)。集成電路工藝開(kāi)始用介質(zhì)隔離，后來(lái)也改為PN結(jié)隔離。開(kāi)始時(shí)研制DTL型電路，后來(lái)也很快過(guò)渡到TTL型電路。從小規(guī)模單與非門(mén)電路做起，后來(lái)主要配合清華大學(xué)計(jì)算機(jī)系為其配套NOVA機(jī)用一整套數(shù)字集成電路，共15個(gè)品種，除了小規(guī)模集成電路外，還有幾個(gè)中規(guī)模集成電路，如4D觸發(fā)器、計(jì)數(shù)器和校正電路等。當(dāng)時(shí)由部里組織全國(guó)同行和用戶(hù)召開(kāi)鑒定會(huì)，整機(jī)定型取名為DJS-130型電子計(jì)算機(jī)，由清華大學(xué)轉(zhuǎn)到北京市計(jì)算機(jī)三廠批量生產(chǎn)，作為小型通用電子計(jì)算機(jī)向全國(guó)供貨。器件二廠生產(chǎn)的集成電路可靠性達(dá)到一定水平，除向北京市計(jì)算機(jī)三廠供貨外，也向國(guó)內(nèi)其它計(jì)算機(jī)廠家供應(yīng)配套電路。當(dāng)時(shí)把這些編入各大學(xué)計(jì)算機(jī)專(zhuān)業(yè)教材，對(duì)我國(guó)計(jì)算機(jī)應(yīng)用的普及起到歷史性作用。該計(jì)算機(jī)獲得全國(guó)第一屆科技大會(huì)獎(jiǎng)，器件二廠配套集成電路獲得二等獎(jiǎng)。除了為小型計(jì)算機(jī)配套外，也為二機(jī)部、七機(jī)部、六機(jī)部和五機(jī)部的科研和生產(chǎn)單位供應(yīng)集成電路，因?yàn)楫?dāng)時(shí)凡上程控或數(shù)字控制的系統(tǒng)都離不開(kāi)數(shù)字電路。為軍工單位配套的集成電路還采用美軍883檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行考核。

 

中國(guó)在1978年底開(kāi)始改革開(kāi)放之后，美國(guó)英特爾公司微處理器從原來(lái)1974年的4位4040、8位8080快速往前發(fā)展。1982年推出16位80286，1985年推出32位80386，1989年又推出新的32位80486。到1993年更推出新一代的奔騰型，本該叫80586，因?yàn)楫?dāng)時(shí)規(guī)定不能用數(shù)字申請(qǐng)專(zhuān)利而選名“奔騰”。這樣一來(lái)，DJS-130型小型計(jì)算機(jī)就逐漸退出歷史舞臺(tái)。為之配套的集成電路就失去主要大用戶(hù)，器件二廠所能生產(chǎn)的中小規(guī)模數(shù)字電路產(chǎn)量很快下跌，其它用戶(hù)的需求量不足以維持工廠正常運(yùn)行。到了上世紀(jì)80年代中期企業(yè)就面臨困境。

為了求得進(jìn)一步發(fā)展，早在1981年就開(kāi)始籌劃建設(shè)凈化廠房，李優(yōu)仁從1982年開(kāi)始接手負(fù)責(zé)建廠房工作，并于1983年3月組織電子部第十設(shè)計(jì)院各專(zhuān)業(yè)工程師（包括半導(dǎo)體工藝、廠房結(jié)構(gòu)、土建、給排水、超純水、電力供給、氮氧氫超純氣體、系統(tǒng)及空調(diào)等專(zhuān)業(yè)）去美國(guó)硅谷考察參觀半導(dǎo)體生產(chǎn)廠房，回來(lái)后設(shè)計(jì)了建筑面積達(dá)5000平米的凈化廠房，這相當(dāng)于美國(guó)上世紀(jì)80年代中小半導(dǎo)體廠房水平。在美國(guó)考察時(shí)，韓國(guó)三星公司也在美國(guó)談引進(jìn)相關(guān)設(shè)備，那時(shí)候和三星公司同時(shí)起步。當(dāng)年比上海貝嶺公司動(dòng)手還早，他們要蓋廠房時(shí)曾來(lái)此參觀過(guò)。這一廠房不僅受到北京市重視，電子部也很關(guān)心，李優(yōu)仁記得，當(dāng)年曾接待過(guò)部里李會(huì)昌陪同江澤民部長(zhǎng)來(lái)看過(guò)。但由于后續(xù)資金跟不上，缺乏資金，蓋了廠房殼子就停步不前了。

 

四、籌建燕東聯(lián)合公司階段

 

1982年5月4日國(guó)家決定成立電子工業(yè)部。在1985年期間，國(guó)家進(jìn)行體制改革工作，電子部將170個(gè)直屬電子工廠下放給各省、直轄市，只留下為電視機(jī)配套的無(wú)錫742廠和咸陽(yáng)4400廠，前者生產(chǎn)電視機(jī)集成電路，后者生產(chǎn)顯像管。北京774廠、878廠和另外10個(gè)代號(hào)廠都下放到北京市。為此，北京市為領(lǐng)導(dǎo)管理這12個(gè)廠設(shè)立了北京市電子工業(yè)辦公室，部里派陳文華到北京市電子辦擔(dān)任副主任。當(dāng)時(shí)北京市原來(lái)市屬電子企業(yè)分屬北京市計(jì)算機(jī)工業(yè)總公司和北京市廣播電視工業(yè)總公司領(lǐng)導(dǎo)。在此背景下，國(guó)家成立了國(guó)家電子振興領(lǐng)導(dǎo)小組，并設(shè)了辦公室，以振興我國(guó)電子信息工業(yè)。北京地區(qū)也在1985年年底成立了北京電子振興領(lǐng)導(dǎo)小組，由陳希同任組長(zhǎng)，韓伯平和陸禹澄（時(shí)任市委常委，后任副市長(zhǎng)）任副組長(zhǎng)，國(guó)家科委、教委、電子部、郵電部和中國(guó)科學(xué)院都有一位領(lǐng)導(dǎo)擔(dān)任副組長(zhǎng)，并設(shè)立了辦公室，以振興北京地區(qū)電子信息工業(yè)。國(guó)務(wù)院任命陸首群擔(dān)任北京電子振興領(lǐng)導(dǎo)小組辦公室主任，在北京地區(qū)抽調(diào)一批工程技術(shù)干部到辦公室分管計(jì)算機(jī)行業(yè)、通信行業(yè)、集成電路行業(yè)和功率器件行業(yè)，先后從沙河研究所調(diào)蔣翔六與我到辦公室一起分管北京地區(qū)集成電路行業(yè)工作。北京電子振興辦公室成員見(jiàn)圖十三。

 

圖十三、北京電子振興辦成員

第一排左3朱貽瑋，左5陸首群，左7蔣翔六，第二排左7華平瀾

 

電子部關(guān)于集成電路“七五”行業(yè)規(guī)劃（1986～1990年），是要在上海和北京重點(diǎn)發(fā)展集成電路。我到任后首先對(duì)北京地區(qū)集成電路行業(yè)的發(fā)展現(xiàn)狀作了調(diào)查。在調(diào)查的基礎(chǔ)上提出了加速發(fā)展北京集成電路行業(yè)的大、中、小三種方案，供市領(lǐng)導(dǎo)選擇決策。大方案是投資4億元人民幣建設(shè)一條全新的5英寸（125mm）2～3微米大規(guī)模集成電路芯片生產(chǎn)線，年產(chǎn)6000萬(wàn)塊集成電路，由774廠和878廠共同出人于1986年3月編寫(xiě)了初步方案。當(dāng)時(shí)希望在國(guó)家出資2億元的情況下，電子部和北京市各出1億元。但是，我們?cè)谙驀?guó)家電子振興領(lǐng)導(dǎo)小組辦公室匯報(bào)該項(xiàng)目的初步方案后，由于國(guó)家電子振興領(lǐng)導(dǎo)小組辦公室沒(méi)能從國(guó)家計(jì)委得到2億元專(zhuān)項(xiàng)基金，此計(jì)劃就宣告落空。中方案是北京市自行籌資2億元，產(chǎn)能規(guī)模小些，也因無(wú)資金來(lái)源而作罷。在此情況下, 就只能采用小方案：利用878廠已經(jīng)引進(jìn)的4英寸仙童線一部分二手設(shè)備，以及北京市半導(dǎo)體器件二廠在建、而未建完的5000平方米凈化廠房，兩廠聯(lián)合組建新的公司，建設(shè)4英寸芯片生產(chǎn)線。在市領(lǐng)導(dǎo)決定后，878廠和器件二廠兩廠也表示同意，隨后由兩廠派出首批人員開(kāi)始籌建。當(dāng)時(shí)市電子辦副主任陳文華和我在器件二廠召集兩廠籌建人員開(kāi)會(huì)討論為聯(lián)合公司取名，在征集的十多個(gè)候選名稱(chēng)中選了“燕東”作為聯(lián)合公司的名字，取名為“北京燕東微電子聯(lián)合公司”， 因?yàn)椤把唷弊直硎疚挥诒本└浇难嗌缴矫}，古代又為燕國(guó)所在地，“東”表示在東部，“燕東”則表示在北京東郊。報(bào)到北京市領(lǐng)導(dǎo)后表示同意此名。這樣，在1987年6月正式成立了北京燕東微電子聯(lián)合公司, 兩廠派出的籌建人員就在器件二廠廠區(qū)內(nèi)辦公籌建4英寸線。市里領(lǐng)導(dǎo)考慮后，決定調(diào)878廠黨委書(shū)記楊富德?lián)窝鄸|公司總經(jīng)理，并由器件二廠副廠長(zhǎng)李優(yōu)仁擔(dān)任黨組織書(shū)記兼副總經(jīng)理，他從1982年起就開(kāi)始負(fù)責(zé)籌建5000平方米凈化廠房工作。

 

國(guó)家“七五”集成電路行業(yè)發(fā)展規(guī)劃建設(shè)南北兩個(gè)微電子基地，北方微電子基地就在北京，并進(jìn)一步明確南方在上海要建貝嶺公司，北方在北京要建燕東公司，各建一條4英寸芯片生產(chǎn)線。上海貝嶺公司為中外合資公司，總投資5000萬(wàn)美元，總經(jīng)理是原上無(wú)十四廠廠長(zhǎng)張惠泉。 因此，張惠泉和楊富德經(jīng)常聯(lián)系，后來(lái)他倆成為摯友。貝嶺是在上海漕河涇地區(qū)的新建項(xiàng)目，新建凈化廠房、引進(jìn)全新工藝設(shè)備；燕東則是在北京器件二廠院內(nèi)的技術(shù)改造項(xiàng)目，由國(guó)家經(jīng)委批準(zhǔn)立項(xiàng)，但總投資規(guī)模僅為5000萬(wàn)元人民幣。

 

楊富德到任之后，要我也去燕東，我義不容辭地同意了，就在1987年9月底離開(kāi)878廠到燕東公司報(bào)到上班了。他要我擔(dān)任副總經(jīng)理負(fù)責(zé)籌集資金，因?yàn)槲遗c電子部和北京市的人員熟悉，同時(shí)還要我兼任總工程師。我回答說(shuō)：只能擔(dān)任其中一職，因兩者工作性質(zhì)截然不同，一要往外跑資金，另一則在內(nèi)管技術(shù)。他認(rèn)為找到資金才能建燕東，就讓我擔(dān)任前職，并讓我推薦總工程師候選人。我先推薦774廠的許同玉，他是清華4字班的，比我晚一屆，1964年畢業(yè)。但當(dāng)時(shí)774廠領(lǐng)導(dǎo)不放他。后推薦878廠的劉湘?zhèn)悾浅呻?964年畢業(yè)，他隨后報(bào)到任職。因?yàn)樗麄z是我早年在774廠三室任固體電路大組長(zhǎng)時(shí)分管硼、磷擴(kuò)散工藝的同事。來(lái)自器件二廠的李優(yōu)仁擔(dān)任黨組織書(shū)記兼副總經(jīng)理，龔凱擔(dān)任副總工程師。燕東公司領(lǐng)導(dǎo)班子到齊后，首要任務(wù)是尋找資金。當(dāng)時(shí)楊富德和我先去我倆都工作過(guò)的老廠774廠找時(shí)任廠長(zhǎng)求助。但得到的回答是：774廠有821、811兩廠房，878廠有小凈化、大凈化兩廠房，都沒(méi)搞上去，老楊、老朱你們才幾十個(gè)人，能把集成電路搞上去？在這樣情況下怎么辦呢？鑒于1985年電子部把在北京的12個(gè)直屬代號(hào)廠都下放到北京市，這樣，我們就先去找北京市領(lǐng)導(dǎo)。時(shí)任副市長(zhǎng)兼北京電子振興領(lǐng)導(dǎo)小組副組長(zhǎng)陸宇澄親自關(guān)心燕東公司的建設(shè)，給我們指點(diǎn)尋找資金來(lái)源，并多次在市里召開(kāi)專(zhuān)題會(huì)議討論燕東4英寸線項(xiàng)目，甚至召集市里各部門(mén)到器件二廠院內(nèi)召開(kāi)現(xiàn)場(chǎng)會(huì)議。

 

事有湊巧。當(dāng)時(shí)首都鋼鐵公司董事長(zhǎng)周冠五要大力拓展企業(yè)經(jīng)營(yíng)范圍，在其所屬電子公司總經(jīng)理毛普慶的建議下，要上大型電子計(jì)算機(jī)、大型電子程控交換機(jī)和大規(guī)模集成電路。這正是北京電子振興辦要推動(dòng)的行業(yè)。為此，電子振興辦派人協(xié)助首鋼走訪了北京市有關(guān)企業(yè)。首鋼向北京市提出了一批較好的電子整機(jī)和器件企業(yè)名單，想要?jiǎng)潥w首鋼。最后北京市委和市政府下文，劃歸首鋼的只是集成電路行業(yè)4個(gè)單位：878廠、器件二廠、沙河研究所和籌建中的燕東公司。之前首鋼曾承諾要出資金為燕東建4英寸芯片線、為878廠擴(kuò)大IC封裝能力、為沙河所提供研發(fā)資金。但當(dāng)北京市領(lǐng)導(dǎo)下了文件把上述4個(gè)單位劃給首鋼之后，首鋼董事長(zhǎng)周冠五在召開(kāi)4單位全體領(lǐng)導(dǎo)干部會(huì)議上宣布，僅是每個(gè)月拿出少量錢(qián)給4單位員工發(fā)工資而已，根本沒(méi)有打算投入建設(shè)和研發(fā)資金。進(jìn)首鋼后反而抽調(diào)了4單位里的技術(shù)骨干參加與日本NEC公司談判引進(jìn)5英寸芯片線和封裝線項(xiàng)目。因?yàn)镹EC公司之前曾參與無(wú)錫742廠MOS電路項(xiàng)目談判，但最后無(wú)錫與日本東芝公司和德國(guó)西門(mén)子公司談成引進(jìn)4英寸和5英寸芯片線項(xiàng)目。經(jīng)國(guó)家領(lǐng)導(dǎo)機(jī)關(guān)介紹，讓日本NEC公司到北京來(lái)談MOS電路項(xiàng)目，并讓首鋼出面談判。4單位抽去參與談判的技術(shù)干部們出于對(duì)國(guó)家和北京市的整體利益出發(fā)，幫助首鋼與NEC公司在1990年初談成了合資合同。我也參與了，擔(dān)任產(chǎn)品與市場(chǎng)小組組長(zhǎng)。談判中間，雙方本來(lái)同意在北京東部電子工業(yè)區(qū)內(nèi)器件二廠院子里建5英寸芯片線，但后來(lái)首鋼總經(jīng)理趙長(zhǎng)白來(lái)器件二廠院子看了以后，首鋼領(lǐng)導(dǎo)決定把建線地址改到西邊首鋼附近。由于要在有污染的鋼鐵廠附近蓋潔凈度要求很高的半導(dǎo)體廠房，為此多花了一筆資金用于加強(qiáng)處理空氣和水質(zhì)。合同執(zhí)行結(jié)果是建成了首鋼日電公司6英寸芯片廠，它成為我國(guó)第一條6英寸線。由于首鋼的食言，不兌現(xiàn)原先的出資承諾，在4單位員工和燕東公司領(lǐng)導(dǎo)班子要求下，北京市領(lǐng)導(dǎo)在一年之后又下文件將上述4單位退出首鋼，回到原系統(tǒng)。當(dāng)時(shí)首鋼通過(guò)市里點(diǎn)名要從上述4單位抽調(diào)17名技術(shù)干部去首鋼，但絕大多數(shù)人不再愿意再去首鋼，包括我在內(nèi)，再困難也寧愿留在原單位。這樣一進(jìn)一出首鋼，貽誤了燕東兩年時(shí)間，出首鋼后燕東又面臨重新尋找資金的局面。

 

出首鋼后，時(shí)任器件二廠廠長(zhǎng)的余慶長(zhǎng)接任燕東公司總經(jīng)理。我繼續(xù)負(fù)責(zé)找資金。在市領(lǐng)導(dǎo)的授意下，我先后分別去找了市計(jì)委、市經(jīng)委、市財(cái)政局及其投資公司、市工商銀行，還有其他投資公司。北京市各單位普遍認(rèn)為: 既然燕東項(xiàng)目是電子部和北京市共建項(xiàng)目，電子部應(yīng)該先出錢(qián)，北京市才跟進(jìn)投資。于是我去電子部找有關(guān)部門(mén)。這時(shí)候已開(kāi)始“八五”規(guī)劃之初，部里明確全國(guó)僅重點(diǎn)支持5個(gè)集成電路重點(diǎn)企業(yè)：無(wú)錫華晶、紹興華越、上海貝嶺、上海飛利浦和北京首鋼日電。前倆為部屬?lài)?guó)有企業(yè)（華晶是當(dāng)年未下放的742廠改組發(fā)展而成，華越則是下放甘肅的871廠在紹興設(shè)點(diǎn)又成其分廠改名后收回部里），后仨為新建的合資企業(yè)，兩個(gè)在上海，一個(gè)在北京。燕東排在第6位，但在重點(diǎn)之外。與我熟悉的部里負(fù)責(zé)投資的財(cái)務(wù)司領(lǐng)導(dǎo)對(duì)我半開(kāi)玩笑地說(shuō)：改革開(kāi)放了，你怎么不去深圳“發(fā)財(cái)”，還要在北京建集成電路廠？我摯意要留在北京建燕東4英寸線。最后，部里財(cái)務(wù)司領(lǐng)導(dǎo)看在我的決心和摯意上，同意出資830萬(wàn)元人民幣投給燕東。為此要感謝電子部當(dāng)時(shí)的財(cái)務(wù)司副司長(zhǎng)林良友和財(cái)務(wù)處處長(zhǎng)戚正榮，有了他們的支持，才有后來(lái)燕東的建成和之后的發(fā)展。在此情況下，北京市財(cái)政局及其所屬投資公司和其他單位逐個(gè)承諾跟進(jìn)投資燕東，并與市工商銀行商談申請(qǐng)貸款事項(xiàng)。

 

在資金初步有所著落的情況下，市經(jīng)委和市電子辦組織燕東項(xiàng)目赴美考察團(tuán)，于1992年年底赴美考察。全團(tuán)共9人，由時(shí)任市電子辦副總工程師華平瀾帶隊(duì)，9人成員中包括市經(jīng)委顧玉芳，市電子辦李克功，機(jī)電部周勤勇（1988年4月電子部與機(jī)械部合并成立機(jī)械電子部，簡(jiǎn)稱(chēng)機(jī)電部），市工商銀行王處長(zhǎng)，和燕東4人：余慶長(zhǎng)、朱貽瑋、李顯榮、尚敏強(qiáng)。赴美考察回來(lái)后經(jīng)過(guò)多種方案選擇，決定與美國(guó)BIT公司進(jìn)行談判，因?yàn)樵摴居幸粭l完整的4英寸芯片線，流的工藝為雙極型集成電路工藝，決定停線將整線設(shè)備出售。考察時(shí)原北京電子振興辦公室的蔣翔六在美國(guó)洛杉磯學(xué)者交流訪問(wèn)，在我們赴美考察后他到BIT公司受聘為首席科學(xué)家, 幫助BIT公司參與談判。雙方經(jīng)過(guò)多次談判，最后于1993年年底簽下合同，將BIT公司一條完整的4英寸線設(shè)備賣(mài)給燕東公司。

 

但是，資金又出現(xiàn)新問(wèn)題。籌措資金中包括有銀行貸款部分，原先說(shuō)好由市工商銀行貸款，考察團(tuán)中還有該行一位信貸處長(zhǎng)參加。而在落實(shí)過(guò)程中，由于負(fù)責(zé)電子口的信貸員不同意貸而辦不成，他的理由是當(dāng)時(shí)電子工業(yè)整體效益都不好。為此向市領(lǐng)導(dǎo)匯報(bào)后改去市中國(guó)銀行聯(lián)系。在市電子辦主任陸首群（這時(shí)管下放12個(gè)廠的小電子辦與計(jì)算機(jī)公司、廣播電視公司以及儀器儀表公司合并成立新的大電子辦）、副總工程師華平瀾和我多次去市中國(guó)銀行匯報(bào)、聯(lián)系后，終于取得他們貸款的承諾。事情辦成后我問(wèn)負(fù)責(zé)放貸的范處長(zhǎng)原因時(shí)，他說(shuō)：他們考慮放貸對(duì)象不是看行業(yè)，而是看要貸款的企業(yè)，更重要的是看企業(yè)負(fù)責(zé)項(xiàng)目的領(lǐng)導(dǎo)人的素質(zhì)和作風(fēng)。

 

在執(zhí)行合同過(guò)程中，我于1994年夏天帶隊(duì)，共33人前往美國(guó)BIT公司進(jìn)行技術(shù)培訓(xùn)。培訓(xùn)結(jié)束后，BIT公司將全線100多臺(tái)設(shè)備拆裝運(yùn)來(lái)北京，BIT公司安排主要設(shè)備制造廠商負(fù)責(zé)派人到燕東公司進(jìn)行設(shè)備安裝調(diào)試，最后經(jīng)過(guò)逐臺(tái)驗(yàn)收合格后才交付燕東使用。此時(shí)已進(jìn)入1995年。

 

就是這樣，燕東公司在第一任總經(jīng)理?xiàng)罡坏碌念I(lǐng)導(dǎo)下，經(jīng)歷了進(jìn)出首鋼貽誤工程兩年，千辛萬(wàn)苦地用5年時(shí)間才建成凈化廠房。這是楊富德總結(jié)774廠和878廠搞半導(dǎo)體和集成電路沒(méi)有高標(biāo)準(zhǔn)、高質(zhì)量水電氣動(dòng)力保障的經(jīng)驗(yàn)教訓(xùn)而采取的重大措施，這就為今后大規(guī)模投產(chǎn)創(chuàng)造了良好條件。我在一次接待臺(tái)商前來(lái)參觀后，他認(rèn)為燕東公司凈化廠房和動(dòng)力設(shè)施已達(dá)到國(guó)際通用標(biāo)準(zhǔn)水平，可以達(dá)到月產(chǎn)20000片集成電路硅圓片的程度。燕東公司廠房見(jiàn)圖十四。

圖十四、燕東廠房門(mén)口

 

之后，在第二任總經(jīng)理余慶長(zhǎng)的領(lǐng)導(dǎo)下，燕東公司又用了5年時(shí)間從美國(guó)BIT公司引進(jìn)一條完整的4英寸芯片線，全線設(shè)備安裝調(diào)試開(kāi)通后，進(jìn)行雙極型模擬電路工藝試驗(yàn)。經(jīng)過(guò)燕東公司全體員工腳踏實(shí)地的努力奮斗，最終于1996年6月底由國(guó)家經(jīng)貿(mào)委（1993年3月重建成立）委托北京市經(jīng)委組織召開(kāi)燕東公司技術(shù)改造項(xiàng)目的驗(yàn)收大會(huì)，驗(yàn)收會(huì)由市經(jīng)委副主任張志明主持。會(huì)上邀請(qǐng)了一批北京地區(qū)半導(dǎo)體專(zhuān)家和兄弟單位領(lǐng)導(dǎo)人參加，當(dāng)時(shí)謝小明代表774廠參加了會(huì)議。驗(yàn)收通過(guò)之后，當(dāng)時(shí)電子工業(yè)部常務(wù)副部長(zhǎng)劉劍鋒（1993年3月恢復(fù)成立電子工業(yè)部）前來(lái)燕東公司現(xiàn)場(chǎng)視察，進(jìn)凈化車(chē)間參觀了工藝線，肯定了燕東項(xiàng)目建設(shè)成果。部里同來(lái)的還有鄭敏政、關(guān)白玉和周子學(xué)（也早已從878廠調(diào)去部里工作）；北京市經(jīng)委張志明副主任和市電子辦華平瀾等人也來(lái)參加。參見(jiàn)圖十五和圖十六。

 

圖十五、劉劍鋒部長(zhǎng)等考察燕東。

第一排自左至右：1關(guān)白玉，2鄭敏政，4劉劍鋒，5張志明，6周子學(xué)，7華平瀾，8余慶長(zhǎng)

第二排自左至右：1朱貽瑋，3龔凱

 

圖十六、劉部長(zhǎng)參觀燕東

前排自左至右：1劉劍鋒，2余慶長(zhǎng)，3朱貽瑋

 

燕東公司在籌建時(shí)為聯(lián)合公司，由878廠和器件二廠分別以部分4英寸二手設(shè)備和在建廠房作為初始投資，其余所投資金來(lái)自電子部、北京市有關(guān)單位，貸款部分當(dāng)初主要是向市中國(guó)銀行貸款。在整個(gè)籌建過(guò)程中資金非常困難。最困難時(shí)連不到100人的工資都發(fā)不出。不止一次地我到上級(jí)單位北京市電子工業(yè)辦公室向主任請(qǐng)求電子辦出錢(qián)墊付，才得以留住燕東員工繼續(xù)艱苦奮斗。引進(jìn)4英寸工藝線后，在進(jìn)行工藝試驗(yàn)過(guò)程中，企業(yè)沒(méi)有營(yíng)收，靠項(xiàng)目資金維持運(yùn)行，資金仍然非常困難。有時(shí)候沒(méi)有能力支付電費(fèi)，屢屢接到市供電局停電通知，若再不繳費(fèi)，面臨遙控自動(dòng)停電危險(xiǎn)。為了不出現(xiàn)第二個(gè)774廠811廠房停產(chǎn)局面，我不止一次地跑到位于前門(mén)地區(qū)北京市供電局，與其溝通，并設(shè)法尋找資金支付電費(fèi)才得以保持運(yùn)轉(zhuǎn)。

 

早期燕東不到100名員工主要來(lái)自878廠和器件二廠。設(shè)備部人員主要來(lái)自878廠，動(dòng)力部人員主要來(lái)自器件二廠，公司領(lǐng)導(dǎo)和管理干部、工程技術(shù)人員和操作工人則來(lái)自?xún)蓮S。后來(lái)又從774廠進(jìn)了一些技術(shù)人員和工人。到廠房建成、全線設(shè)備投入運(yùn)行后，不斷地從878廠和774廠聘用一些已經(jīng)退休的、有經(jīng)驗(yàn)的工程技術(shù)人員來(lái)增加技術(shù)力量。

 

在4英寸芯片線驗(yàn)收前，余慶長(zhǎng)和我商量，鑒于燕東公司4英寸線建設(shè)因資金問(wèn)題延續(xù)了10年才建成，當(dāng)初差不多同時(shí)起步的上海貝嶺公司早在1989年就建成投產(chǎn)而成為國(guó)內(nèi)第一條4英寸線，而現(xiàn)時(shí)連首鋼日電公司國(guó)內(nèi)第一條6英寸線都已投產(chǎn)5年了，國(guó)內(nèi)集成電路5大骨干企業(yè)：無(wú)錫華晶、紹興華越、上海貝嶺、上海飛利浦、北京首鋼日電，都已建成投產(chǎn)，我們?cè)偃ヅc他們拼集成電路產(chǎn)品，肯定難度很大。為了企業(yè)生存，不如來(lái)一個(gè)“回馬槍”，回過(guò)頭來(lái)主攻半導(dǎo)體分立器件，兼作集成電路。因?yàn)橐匝鄸|現(xiàn)有的凈化廠房和4英寸線設(shè)備條件與國(guó)內(nèi)分立器件兄弟廠條件相比的話(huà)，可以排在前三名之內(nèi)。但大部分中層干部開(kāi)始時(shí)都不贊成，最后在我倆做工作后都表示同意。這一種“退一步 進(jìn)兩步”的戰(zhàn)略決策使得燕東公司之后能在國(guó)內(nèi)外激烈的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)中不倒而不斷前進(jìn)具有長(zhǎng)遠(yuǎn)的意義。這是因?yàn)樵诩呻娐反笈可a(chǎn)后在各類(lèi)電子整機(jī)中廣泛應(yīng)用之后，并沒(méi)有出現(xiàn)晶體管出來(lái)后基本取代電子管的局面，半導(dǎo)體分立器件（晶體二極管和三極管）仍然在整機(jī)中有應(yīng)用價(jià)值，形成采用集成電路為主、分立器件為輔的局面。

 

為此，我們從774廠聘了兩位顧問(wèn)，一位就是許同玉，另一位是搞背面金屬化的技術(shù)人員，因?yàn)榫w管與集成電路不同的工藝主要就是背面金屬化。774廠搞了20多年的晶體管，卻沒(méi)有解決這一關(guān)鍵工藝。當(dāng)年無(wú)錫742廠還從國(guó)外公司花重金引進(jìn)這一單項(xiàng)工藝。我請(qǐng)部里半導(dǎo)體處關(guān)白玉與他們聯(lián)系后，帶燕東工藝技術(shù)員和北京儀器廠技術(shù)人員一起去已改名為華晶公司學(xué)習(xí)。但工藝因合同規(guī)定不能外流，只讓測(cè)繪了用于3英寸硅片的電子束蒸發(fā)臺(tái)。回來(lái)后由北儀廠試制用于4英寸硅片的電子束蒸發(fā)臺(tái)。設(shè)備搞出來(lái)了，可是連換了兩次主管技術(shù)員，背金工藝依然沒(méi)有最終攻克，有待解決。

 

1996年下半年北京市電子辦領(lǐng)導(dǎo)貫徹中央關(guān)于企業(yè)領(lǐng)導(dǎo)班子年輕化的政策，陸續(xù)調(diào)整所屬企業(yè)的領(lǐng)導(dǎo)成員。到1996年年底，市電子辦干部人事處處長(zhǎng)來(lái)燕東公司召開(kāi)中層以上全體領(lǐng)導(dǎo)干部會(huì)議，宣布調(diào)774廠副總裁謝小明來(lái)?yè)?dān)任燕東公司第三任總經(jīng)理。他是鄧小平恢復(fù)高考后成都電訊工程學(xué)院頭一屆畢業(yè)生，此時(shí)正值年輕力壯之際。會(huì)上并宣布，聘我為公司顧問(wèn)。從此，燕東公司在新一屆年輕化領(lǐng)導(dǎo)班子的領(lǐng)導(dǎo)下，解決芯片背面金屬化難關(guān)，組織開(kāi)發(fā)新產(chǎn)品，首先把晶體管進(jìn)入批量生產(chǎn)階段，一步步“爬坡”，逐步做到扭虧為盈，使燕東公司在國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)激烈競(jìng)爭(zhēng)中生存下來(lái)，并且不斷地發(fā)展前進(jìn)。

 

從燕東聯(lián)合公司成立，到引進(jìn)4英寸芯片線項(xiàng)目驗(yàn)收成功，經(jīng)歷長(zhǎng)達(dá)10年之久。成立當(dāng)初，是在北京電子振興領(lǐng)導(dǎo)小組辦公室陸首群主任領(lǐng)導(dǎo)下。后來(lái)主管電子部下放北京市的12個(gè)企業(yè)的北京市電子工業(yè)辦公室（稱(chēng)為小電辦）和原來(lái)的北京市計(jì)算機(jī)工業(yè)總公司、北京市廣播電視工業(yè)總公司，以及北京市儀器儀表工業(yè)總公司合并，組成新的北京市電子工業(yè)辦公室（稱(chēng)為大電辦），由電子振興辦主任陸首群兼任新電子辦主任，兩辦合署辦公，一套班子兩塊牌子。之后在陸首群調(diào)走后，由774廠廠長(zhǎng)張仲文接任市電子辦主任。到燕東公司項(xiàng)目驗(yàn)收時(shí)，市電子辦主任已由738廠廠長(zhǎng)鮑玉桐接任。上級(jí)領(lǐng)導(dǎo)機(jī)構(gòu)及其負(fù)責(zé)人雖幾經(jīng)變動(dòng)調(diào)整，但對(duì)燕東公司的支持始終如一，堅(jiān)持不斷。這是燕東公司長(zhǎng)期不倒而能取得成功的重要原因。

 

五、燕東公司成長(zhǎng)擴(kuò)大階段

 

燕東公司自1997年初開(kāi)始, 在謝小明擔(dān)任總經(jīng)理新的領(lǐng)導(dǎo)班子領(lǐng)導(dǎo)下，在已建成的凈化廠房和引進(jìn)的4英寸芯片生產(chǎn)線成套設(shè)備基礎(chǔ)上，在產(chǎn)品方向由集成電路向分立器件為主這一戰(zhàn)略轉(zhuǎn)移方針引導(dǎo)下，開(kāi)始前進(jìn)。過(guò)后不久，又從774廠調(diào)來(lái)淮永進(jìn)擔(dān)任燕東公司總工程師，他是蘭州大學(xué)本科畢業(yè)，又在西安交通大學(xué)上研究生，獲得碩士學(xué)位。分立器件相對(duì)集成電路而言，從集成度講是降低了，但對(duì)晶體管的參數(shù)要求更嚴(yán)格了，而且在分立器件中有一些獨(dú)特的工藝，例如，為降低粘結(jié)芯片時(shí)的接觸電阻，需要有硅片背面金屬化這道工藝。燕東要做分立器件，背面金屬化就是一只“攔路虎”。背面金屬化有背金和背銀兩種工藝。首先，燕東主管技術(shù)人員利用北京儀器廠研制的電子束蒸發(fā)臺(tái)先攻下了背銀工藝。當(dāng)時(shí)上分立器件后，燕東承接對(duì)臺(tái)來(lái)料加工。我在1997年2月退休后當(dāng)顧問(wèn)期間，當(dāng)年5月底，參加中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)組織的大陸代表團(tuán)，赴臺(tái)參加“兩岸半導(dǎo)體學(xué)術(shù)研究與產(chǎn)業(yè)發(fā)展研討會(huì)”。會(huì)議之后，我到燕東為其加工晶體管芯片的華昕公司參觀，了解到他們對(duì)用作背金工藝的電阻式蒸發(fā)臺(tái)所做的改裝。回來(lái)后燕東公司工藝工程師和設(shè)備維修人員在此啟示下，共同努力改裝了蒸發(fā)臺(tái)，又經(jīng)過(guò)無(wú)數(shù)次試驗(yàn)，最終在主管技術(shù)人員李顯榮反復(fù)試驗(yàn)后也攻克了背金工藝。解決了背面金屬化之后，燕東生產(chǎn)的分立器件順利地得到用戶(hù)的肯定。

 

到1999年9月，我結(jié)束燕東公司顧問(wèn)工作，離開(kāi)1963年清華大學(xué)畢業(yè)后到774廠開(kāi)始工作以來(lái)36年的酒仙橋地區(qū), 回到清華大學(xué)，參與臺(tái)灣朋友組建的大茂國(guó)際公司團(tuán)隊(duì)，協(xié)助清華大學(xué)微電子研究所上5英寸工藝試驗(yàn)線。

 

堅(jiān)持以市場(chǎng)為導(dǎo)向，大力開(kāi)發(fā)新產(chǎn)品

 

以前計(jì)劃經(jīng)濟(jì)年代，全國(guó)電子工業(yè)每年春季和秋季各組織一次全國(guó)電子元器件訂貨會(huì)。半導(dǎo)體工廠一般是先自行研究開(kāi)發(fā)新產(chǎn)品，并逐步形成系列，出了樣品后給用戶(hù)試用，經(jīng)用戶(hù)認(rèn)可后才投入批量生產(chǎn)，然后逐步推廣。在改革開(kāi)放市場(chǎng)經(jīng)濟(jì)大環(huán)境下，情況大不相同。特別是廣東珠江三角洲沿海地區(qū)先發(fā)展起一大批來(lái)料加工的電子整機(jī)企業(yè)，生產(chǎn)各種各樣家用電器和電子小整機(jī)，所需電子元器件品種多、數(shù)量大。燕東決心上分立器件后，新上任的總經(jīng)理謝小明經(jīng)常親自前往廣東沿海了解市場(chǎng)需求，進(jìn)而組織技術(shù)組工程師開(kāi)發(fā)市場(chǎng)急需的品種。除了在職在崗的青壯年工程技術(shù)人員之外，公司還聘用不少本地區(qū)（包括774廠和878廠）已退休的有經(jīng)驗(yàn)的教授級(jí)高級(jí)工程師和高級(jí)工程師來(lái)燕東繼續(xù)發(fā)揮余熱，他們?yōu)殚_(kāi)發(fā)新產(chǎn)品及提高工藝技術(shù)水平作出了不可磨滅的貢獻(xiàn)。

 

扭虧為盈不斷進(jìn)行設(shè)備更新升級(jí)

 

任何一條半導(dǎo)體芯片線建成投產(chǎn)之后，都得經(jīng)過(guò)一個(gè)“爬坡”期，即在小批量投產(chǎn)后逐漸增加月產(chǎn)片量，由幾百片提升至幾千片，上萬(wàn)片，直至國(guó)際上通常認(rèn)為的規(guī)模經(jīng)濟(jì)月產(chǎn)20000片的水平。到2001年燕東公司已達(dá)到盈虧平衡。自此以后，從微利逐步提高到年盈利率百分之幾、百分之十幾，乃至20％以上。開(kāi)始盈利后，重點(diǎn)增添“細(xì)脖子”工序的設(shè)備，使產(chǎn)量繼續(xù)增加。燕東公司經(jīng)過(guò)8年，到2004年達(dá)到月產(chǎn)4英寸片20000片。之后，從2005年12月開(kāi)始籌劃采購(gòu)6英寸設(shè)備，到2007年3月建成6英寸線開(kāi)始投片。到2011年年底達(dá)到月產(chǎn)20000片4英寸片、10000片6英寸片的水平。到2012年6英寸片月產(chǎn)量也達(dá)到20000片，到2013年12月更達(dá)到30000片。而且6英寸設(shè)備的光刻和刻蝕設(shè)備已具備0.5微米的水準(zhǔn)，為今后擴(kuò)大產(chǎn)品范圍提供了良好的物質(zhì)基礎(chǔ)。

 

“退一步  進(jìn)兩步”戰(zhàn)略決策見(jiàn)成效

 

在芯片線驗(yàn)收投產(chǎn)前，燕東公司領(lǐng)導(dǎo)做出“退一步 進(jìn)兩步”的戰(zhàn)略決策，“退一步”就是從集成電路退回搞分立器件為主，使企業(yè)在激烈的國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)的環(huán)境中，不但避免了夭折的危險(xiǎn)，使企業(yè)生存了下來(lái)，而且使企業(yè)從小到大，逐漸發(fā)展壯大起來(lái)。這是因?yàn)殡m然出現(xiàn)了集成電路，甚至快速發(fā)展到大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路之后，分立器件不但沒(méi)有完全被取代，而且繼續(xù)存在著巨大的市場(chǎng)。分立器件較集成電路容易在競(jìng)爭(zhēng)中立住腳，因?yàn)橐话銇?lái)說(shuō)，其開(kāi)發(fā)新產(chǎn)品的成本比集成電路低，而且生產(chǎn)周期短，出貨快。在半導(dǎo)體企業(yè)經(jīng)營(yíng)模式上，燕東公司沒(méi)有采用當(dāng)時(shí)中國(guó)大陸許多集成電路廠家采取的“代工”模式，而仍然走IDM模式，即以自我開(kāi)發(fā)產(chǎn)品直接進(jìn)入市場(chǎng)。而且后來(lái)又建起了封裝車(chē)間，把管子芯片封成芝麻管，使部分產(chǎn)品以最終成品方式直接供應(yīng)用戶(hù)，從而增加了營(yíng)收。2008年手機(jī)用的小型封裝SOP923也投入量產(chǎn)。并且在2015年又到密云建設(shè)了封裝基地，使封裝產(chǎn)能逐年不斷提高。而在分立器件站穩(wěn)之后，公司回過(guò)頭來(lái)又積極開(kāi)發(fā)雙極型模擬電路產(chǎn)品，逐步提高集成電路的投片量比例。這就實(shí)現(xiàn)了第一個(gè)“進(jìn)一步”。如前所述，又從4英寸硅片進(jìn)展到6英寸，從而實(shí)現(xiàn)了第二個(gè)“進(jìn)一步”。這樣，“退一步 進(jìn)兩步”的戰(zhàn)略決策得以實(shí)現(xiàn)。

 

兄弟企業(yè)分步組合 逐步擴(kuò)大形成拳頭

 

由于燕東公司在市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)過(guò)程中能夠由小到大，逐步發(fā)展起來(lái)，給北京市屬半導(dǎo)體器件行業(yè)重組創(chuàng)造了條件。先是北京市半導(dǎo)體器件五廠于2010年初與燕東公司組合，器件五廠的雙極型穩(wěn)壓電源電路芯片由燕東公司流片生產(chǎn)，而五廠的封裝車(chē)間早已移入燕東廠區(qū)進(jìn)行生產(chǎn)。再是北京宇翔電子有限公司（原為北京市半導(dǎo)體器件三廠）于2011年5月也與燕東公司組合，并于2012年上半年將4英寸CMOS芯片線設(shè)備搬入燕東凈化廠房，經(jīng)過(guò)安裝調(diào)試投入使用。此外，生產(chǎn)半導(dǎo)體二極管的北京市半導(dǎo)體器件六廠、878廠沙威公司和生產(chǎn)光電器件的北京瑞普北光電子有限公司也先后與燕東公司實(shí)現(xiàn)了組合。總之，從2010年年初開(kāi)始組合，到2012年6月份，北京市半導(dǎo)體器件三廠――北京宇翔電子有限公司、北京市半導(dǎo)體器件五廠、北京市半導(dǎo)體器件六廠、878廠――沙威公司，以及北京瑞普北光電子有限公司都先后組合到燕東公司，形成集團(tuán)化組織。這樣，北京市器件行業(yè)完成了實(shí)質(zhì)性整合，并進(jìn)入了發(fā)展快車(chē)道。在此組合的過(guò)程中，上級(jí)領(lǐng)導(dǎo)機(jī)關(guān)又對(duì)燕東公司領(lǐng)導(dǎo)班子作了調(diào)整，謝小明擔(dān)任董事長(zhǎng)，淮永進(jìn)出任第四任總經(jīng)理。燕東公司不但由于北京地區(qū)其他兄弟企業(yè)組合進(jìn)來(lái)而擴(kuò)大，而且由于首鋼日電公司6英寸線在其20年合資期滿(mǎn)后停止運(yùn)行、退出芯片制造行業(yè)而成為封裝測(cè)試企業(yè)，其中90多名6英寸線上工作的技術(shù)人員、操作工人和設(shè)備維修人員轉(zhuǎn)到燕東公司工作，從而增加了燕東公司的技術(shù)和設(shè)備維修力量。

 

燕東公司經(jīng)過(guò)30年的艱苦歷程，發(fā)展成為既生產(chǎn)分立器件，又生產(chǎn)集成電路；既有雙極型工藝，又有CMOS工藝的IDM模式的半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)，逐步擴(kuò)大成為北京市國(guó)有半導(dǎo)體拳頭企業(yè)，在競(jìng)爭(zhēng)中求生存，并在競(jìng)爭(zhēng)中不斷發(fā)展壯大，連續(xù)15年快速增長(zhǎng)。目前企業(yè)資產(chǎn)總量已達(dá)到15.11億元，是“十二五”初期3.6倍；2016年?duì)I業(yè)收入達(dá)到7.57億元，年均增長(zhǎng)率連續(xù)4年保持20％以上。燕東公司獲得中國(guó)半導(dǎo)體功率器件十強(qiáng)企業(yè)稱(chēng)號(hào)。

 

六、燕東新廠建設(shè)發(fā)展階段

 

2017年是燕東公司成立30周年。

2017年9月1日中國(guó)共產(chǎn)黨北京燕東微電子有限公司第一次代表大會(huì)召開(kāi)，我有幸作為退休黨員的代表參加了會(huì)議。會(huì)上燕東公司黨委書(shū)記王海鵬在報(bào)告中提出“二次創(chuàng)業(yè)”目標(biāo)，燕東公司的奮斗目標(biāo)是：團(tuán)結(jié)一致，開(kāi)拓進(jìn)取，為打造又專(zhuān)又精具有全球競(jìng)爭(zhēng)力的通用半導(dǎo)體公司而努力奮斗，使企業(yè)通過(guò)深度市場(chǎng)化改造走向國(guó)際化，在國(guó)內(nèi)要成為知名的高可靠器件供應(yīng)商。會(huì)議期間全體代表拍照留影，見(jiàn)圖十七。

 

圖十七、燕東公司第一次黨代表大會(huì)留影。

照片第一排左起：4王海鵬，5謝小明，8淮永進(jìn)

 

經(jīng)過(guò)多年醞釀選擇考慮，燕東公司作出了今后發(fā)展的重要戰(zhàn)略抉擇，決定就在北京建設(shè)特種工藝8英寸芯片生產(chǎn)線。這一8英寸線集成電路研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目是北京電子控股有限責(zé)任公司（1997年4月8日創(chuàng)立，原市電子辦撤銷(xiāo)）歷史上除京東方之外的最大的單筆支持項(xiàng)目。北京市成立了燕東8英寸線項(xiàng)目辦公室。過(guò)去燕東公司初創(chuàng)時(shí)期是我們?nèi)フ沂虚L(zhǎng)，現(xiàn)在則是新上任的副市長(zhǎng)主動(dòng)來(lái)調(diào)研。燕東8英寸線項(xiàng)目還得到國(guó)家大基金的全力支持。項(xiàng)目技術(shù)目標(biāo)：25次光刻，0.11微米。產(chǎn)能目標(biāo)：月產(chǎn)8英寸片50000片。根據(jù)北京市總體規(guī)劃，新廠就建在位于亦莊的北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)內(nèi)。目前新的凈化廠房正在建設(shè)之中，而且已派一批工程技術(shù)人員前往馬來(lái)西亞進(jìn)行技術(shù)培訓(xùn)。計(jì)劃到2018年6月廠房封頂，9月進(jìn)工藝設(shè)備，年底建成投入使用。

 

創(chuàng)新是發(fā)展的源泉，燕東公司現(xiàn)在高度重視技術(shù)創(chuàng)新能力的提升，先后與清華大學(xué)、中科院以及國(guó)內(nèi)外多個(gè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)聯(lián)合承擔(dān)了多項(xiàng)科研項(xiàng)目攻關(guān)，并且成立市場(chǎng)化方向的設(shè)計(jì)平臺(tái)，采用產(chǎn)業(yè)并購(gòu)方式強(qiáng)化設(shè)計(jì)能力，先后與西安交通大學(xué)、電子科技大學(xué)、北京工業(yè)大學(xué)等建立產(chǎn)學(xué)研教聯(lián)盟。

 

燕東公司從4英寸線起步，經(jīng)過(guò)6英寸線階段，現(xiàn)正向8英寸線前進(jìn)。這一發(fā)展成長(zhǎng)過(guò)程雖然漫長(zhǎng)而艱辛，但還是挺過(guò)來(lái)了，一步一步札實(shí)地向前走。現(xiàn)在的夢(mèng)想則是今后也能建設(shè)12英寸線，的確，擺在燕東公司面前還有更長(zhǎng)的路要走。

 

現(xiàn)今燕東人決心全面把握機(jī)遇，沉著應(yīng)對(duì)挑戰(zhàn)，繼承和發(fā)揚(yáng)艱苦創(chuàng)業(yè)、敢為人先的優(yōu)良傳統(tǒng)，解放思想，開(kāi)拓進(jìn)取，奮發(fā)有為，為實(shí)現(xiàn)燕東“十三五”發(fā)展目標(biāo)而不斷努力。

 

成功沒(méi)有終點(diǎn)，奮斗才是永遠(yuǎn)！

 

七、結(jié)束語(yǔ)

 

鐘表在擺動(dòng)，時(shí)間在流逝。眼睛一眨，今年已進(jìn)入2017年。我已于2月2日度過(guò)了80周歲的門(mén)坎，退休已經(jīng)20年。到今年10月下旬，中國(guó)共產(chǎn)黨第十九次全國(guó)代表大會(huì)在北京召開(kāi)。習(xí)近平總書(shū)記在大會(huì)上作了具有歷史意義的報(bào)告。以前黨代會(huì)提出到本世紀(jì)中葉國(guó)家基本實(shí)現(xiàn)現(xiàn)代化。這次習(xí)近平在報(bào)告中提出到2035年基本實(shí)現(xiàn)社會(huì)主義現(xiàn)代化。這表明我們國(guó)家將提前完成基本實(shí)現(xiàn)現(xiàn)代化的目標(biāo)。習(xí)近平提出的“中國(guó)夢(mèng)”的藍(lán)圖是：到本世紀(jì)中葉建成富強(qiáng)民主文明和諧美麗的社會(huì)主義現(xiàn)代化強(qiáng)國(guó)。

 

眼看著2018年元旦不久就要來(lái)臨了。在我腦海中游蕩了50多年的酒仙橋地區(qū)集成電路夢(mèng)快要完夢(mèng)了。1965年從774廠三室開(kāi)始獨(dú)立自主研制固體電路起步，1968年開(kāi)始創(chuàng)建我國(guó)第一家集成電路專(zhuān)業(yè)化工廠：878廠，1987年成立燕東公司，由小方片經(jīng)過(guò)2英寸片、3英寸片、4英寸片、6英寸片，一直發(fā)展到在建8英寸線，迄今歷經(jīng)漫長(zhǎng)的53年。在即將來(lái)臨的2018年，酒仙橋地區(qū)這只集成電路“金鳳凰”將要飛到亦莊經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)去了，將和我國(guó)第一座12英寸芯片廠——中芯國(guó)際公司北京工廠作伴。祝愿這只“金鳳凰”飛得更高更遠(yuǎn)；祝愿燕東8英寸芯片廠早日建成投產(chǎn)并達(dá)產(chǎn)，而且在不久的將來(lái)，燕東12英寸芯片廠也能相繼問(wèn)世，為譜寫(xiě)北京集成電路發(fā)展歷史增添新篇章，貢獻(xiàn)新力量！

 

一萬(wàn)年太久，只爭(zhēng)朝夕！ 

八、鳴謝

 

承蒙許同玉、秦鵬二位對(duì)774廠部分，李優(yōu)仁、劉和益二位對(duì)器件二廠部分提供寶貴素材，特此表示衷心感謝。劉和益也是清華同班同學(xué)，曾任器件二廠副廠長(zhǎng)。感謝陸首群主任閱后提出寶貴的修改意見(jiàn)。